Principo de vakua vaporiĝa tegaĵo
1, Ekipaĵo kaj fizika procezo de vakua vaporiĝa tegaĵo
La vakua vaporiĝa tega ekipaĵo estas ĉefe kunmetita de vakua ĉambro kaj evakua sistemo.Ene de la vakua ĉambro, estas vaporiĝfonto (t.e. vaporiĝhejtilo), substrato kaj substratkadro, substrathejtilo, ellassistemo, ktp.
La tegaĵo estas metita en la vaporiĝfonton de la vakua ĉambro, kaj sub altaj vakuaj kondiĉoj, ĝi estas varmigita de la vaporiĝfonto por vaporiĝi.Kiam la averaĝa libera intervalo de la vapormolekuloj estas pli granda ol la lineara grandeco de la vakua ĉambro, post kiam la atomoj kaj molekuloj de la filmvaporo eskapis de la surfaco de la vaporiĝfonto, malofte estas malhelpitaj de la kolizio de aliaj molekuloj aŭ atomoj, kaj rekte atingi la surfacon de la tegita substrato.Pro la malalta temperaturo de la substrato, la filmaj vaporpartikloj kondensiĝas sur ĝi kaj formas filmon.
Por plibonigi la adheron de vaporiĝaj molekuloj kaj substrato, la substrato povas esti aktivigita per taŭga hejtado aŭ jonpurigado.Vakua vaporiĝa tegaĵo trairas la sekvajn fizikajn procezojn de materiala vaporiĝo, transportado ĝis deponado en filmon.
(1) Uzante diversajn manierojn konverti aliajn formojn de energio en termikan energion, la filmmaterialo estas varmigita por vaporiĝi aŭ sublimi en gasajn partiklojn (atomoj, molekuloj aŭ atomaretoj) kun certa kvanto de energio (0,1 ĝis 0,3 eV).
(2) Gasaj partikloj forlasas la surfacon de la filmo kaj estas transportitaj al la surfaco de la substrato kun certa moviĝrapideco, esence sen kolizio, en rekta linio.
(3) La gasaj partikloj atingantaj la surfacon de la substrato kuniĝas kaj nukleiĝas, kaj tiam kreskas en solidfazan filmon.
(4) Reorganizo aŭ kemia ligo de la atomoj kiuj konsistigas la filmon.
2, Vapora hejtado
(1) Rezisto hejtado vaporiĝo
Rezista hejtadovaporiĝo estas la plej simpla kaj plej ofte uzata hejta metodo, ĝenerale aplikebla al tegaj materialoj kun frostopunkto sub 1500℃, altaj frostopunktoj metaloj en drato aŭ foliformo (W, Mo, Ti, Ta, boronitruro, ktp.) estas. kutime farita en taŭgan formon de vaporiĝfonto, ŝarĝita per vaporiĝmaterialoj, tra la Joule-varmo de elektra kurento por fandi, vaporigi aŭ sublimi la tegan materialon, la formo de vaporiĝfonto ĉefe inkluzivas multi-fadenan spiralon, U-forman, sinusondon , maldika telero, boato, konusa korbo, ktp. Samtempe, la metodo postulas, ke la vaporiĝa fontomaterialo havu altan fandpunkton, malaltan saturan vaporpremon, stabilajn kemiajn proprietojn, ne havu kemian reagon kun la tegaĵo materialo ĉe alta temperaturo, bona varmorezisto, malgranda ŝanĝo en potenca denseco, ktp. Ĝi adoptas altan kurenton tra la vaporiĝfonto por igi ĝin varmigi kaj vaporigi la filmmaterialon per rekta hejtado, aŭ meti la filmmaterialon en la fandujon el grafito kaj certa alta temperaturo imuna. metalaj oksidoj (kiel A202, B0) kaj aliaj materialoj por nerekta hejtado vaporiĝi.
Rezisto hejtado evapora tegaĵo havas limojn: obstinaj metaloj havas malaltan vaporpremon, kiu malfacilas fari maldikan filmon;iuj elementoj estas facile formi alojon kun la hejta drato;ne estas facile akiri unuforman komponadon de la aloja filmo.Pro la simpla strukturo, malalta prezo kaj facila operacio de rezisto hejtado vaporiĝa metodo, ĝi estas tre ofta apliko de vaporiĝa metodo.
(2) Elektrona fasko hejtado vaporiĝo
Elektronradiovaporiĝo estas metodo de vaporigado de la tegmaterialo bombado de ĝi kun alt-energia denseca elektronradio metante ĝin en akvomalvarmigitan kupran fandujon.La vaporiĝfonto konsistas el elektrona elsendofonto, elektrona akcela energifonto, krisolo (kutime kupra krisolo), magneta kampa bobeno kaj malvarmiga akvo-aro, ktp. En ĉi tiu aparato, la hejtita materialo estas metita en akvon. -malvarmigita fandujo, kaj la elektrona fasko bombas nur tre malgrandan parton de la materialo, dum la plej granda parto de la restanta materialo restas ĉe tre malalta temperaturo sub la malvarmiga efiko de la fandujo, kiu povas esti rigardita kiel la bombardita parto de la fandujo.Tiel, la metodo de elektronradia hejtado por vaporiĝo povus eviti poluadon inter la tegmaterialo kaj la vaporiĝa fontomaterialo.
La strukturo de la elektronradia vaporiĝfonto povas esti dividita en tri tipojn: rektaj pafiloj (Boules-pafiloj), ringpafiloj (elektre devojitaj) kaj e-pafiloj (magnete devojitaj).Unu aŭ pluraj krisoloj povas esti metitaj en vaporiĝinstalaĵon, kiu povas vaporiĝi kaj deponi multajn malsamajn substancojn samtempe aŭ aparte.
Elektronradiaj vaporiĝfontoj havas la sekvajn avantaĝojn.
①La alta traba denseco de la elektronradia bombarda vaporiĝfonto povas akiri multe pli grandan energian densecon ol la rezista hejtfonto, kiu povas vaporigi altajn frostopunktojn materialojn, kiel W, Mo, Al2O3, ktp.
②La tegaĵo estas metita en akvomalvarmigitan kupran fandujon, kiu povas eviti la vaporiĝon de la vaporiĝa fontomaterialo, kaj la reagon inter ili.
③Varmo povas esti aldonita rekte al la surfaco de la tegaĵo, kio faras la termikan efikecon alta kaj la perdo de varmokondukado kaj varmega radiado malalta.
La malavantaĝo de la elektrona fasko hejtado vaporiĝmetodo estas ke la primaraj elektronoj de la elektrona kanono kaj la sekundaraj elektronoj de la surfaco de la tegaĵo materialo jonigos la vaporiĝantaj atomoj kaj restaj gasaj molekuloj, kio influos la kvaliton de la filmo foje.
(3) Altfrekvenca indukta hejtado vaporiĝo
Altfrekvenca indukta hejtado vaporiĝo estas meti la fandujon kun tega materialo en la centron de la altfrekvenca spirala bobeno, tiel ke la tegaĵo-materialo generas fortan kirlofluon kaj histerezan efikon sub la indukto de altfrekvenca elektromagneta kampo, kiu kaŭzas la filmtavolo por varmigi ĝis ĝi vaporiĝas kaj vaporiĝas.La vaporiĝfonto ĝenerale konsistas el akvomalvarmigita altfrekvenca bobeno kaj grafita aŭ ceramika (magneziooksido, aluminiooksido, borooksido, ktp.) krisolo.La altfrekvenca elektroprovizo uzas frekvencon de dek mil ĝis kelkcent mil Hz, la eniga potenco estas pluraj ĝis kelkcent kilovattoj, ju pli malgranda la volumo de la membranmaterialo, des pli alta la indukta frekvenco.Indukta bobeno-frekvenco estas kutime farita el akvomalvarmigita kupra tubo.
La malavantaĝo de altfrekvenca indukta hejtado evapora metodo estas, ke ne estas facile fajne ĝustigi la enigan potencon, ĝi havas la jenajn avantaĝojn.
①Alta vaporiĝo-rapideco
②La temperaturo de la vaporiĝfonto estas unuforma kaj stabila, do ne estas facile produkti la fenomenon de tegantaj gutetoj ŝprucigi, kaj ĝi ankaŭ povas eviti la fenomenon de pintruoj sur la deponita filmo.
③La vaporiĝfonto estas ŝarĝita unufoje, kaj la temperaturo estas relative facila kaj facile regebla.
Afiŝtempo: Oct-28-2022