Komponita tega ekipaĵo de magnetrona ŝprucado kaj katoda plur-arka jona tegaĵo povas funkcii aparte kaj samtempe;povas esti deponita kaj preparita pura metala filmo, metala kunmetita filmo aŭ komponita filmo;povas esti ununura tavolo de filmo kaj plurtavola kunmetita filmo.
Ĝiaj avantaĝoj jene:
Ĝi ne nur kombinas la avantaĝojn de diversaj jonaj tegaĵoj kaj konsideras la preparadon kaj demetadon de maldika filmo por diversaj kampoj de apliko, sed ankaŭ permesas la deponadon kaj preparadon de plurtavolaj monolitaj filmoj aŭ plurtavolaj kunmetitaj filmoj en la sama vakuo. tega ĉambro samtempe.
La aplikoj de deponitaj filmtavoloj estas vaste uzataj, ĝiaj teknologioj estas en diversaj formoj, la tipaj jene:
(1) La kunmetaĵo de ne-ekvilibra magnetrona ŝprucado kaj katoda jona tegteknologio.
Ĝia aparato estas montrita jene.Ĝi estas kunmetita tega ekipaĵo de kolumna magnetrona celo kaj ebena katoda arka jona tegaĵo, kiu taŭgas por ambaŭ ilaj tegaĵoj kunmetitaj filmo kaj dekoracia filma tegaĵo.Por ila tegaĵo, la katoda arka jona tegaĵo estas uzata unue por la baztavola tegaĵo, kaj tiam la kolumna magnetrona celo estas uzata por la demetado de nitruro kaj aliaj filmaj tavoloj por akiri alt-precizecan prilaboran ilan surfacan filmon.
Por ornama tegaĵo, TiN kaj ZrN dekoraciaj filmoj povas esti deponitaj per katoda arka tegaĵo unue, kaj poste dopitaj per metalo uzante magnetronajn celojn, kaj la dopa efiko estas tre bona.
(2) La kunmetaĵo de ĝemelaj ebenaj magnetrono kaj kolumna katoda arka jona tegaĵoteknikoj.La aparato estas montrita jene.Ĝi estas uzata la altnivela ĝemelcelo teknologio, kiam du flank-al-flanke ĝemelaj celoj ligitaj al la meza ofteco nutrado, ĝi ne nur venkas la celon venenado de DC sputtering, fajro kaj aliaj malavantaĝoj;kaj povas deponi Al203, SiO2-oksidan kvalitan filmon, tiel ke la oksida rezisto de la kovritaj partoj pliiĝis kaj pliboniĝis.Kolumna multarka celo instalita en la centro de la vakua ĉambro, la cela materialo povas esti uzata Ti kaj Zr, ne nur por konservi la avantaĝojn de alta multarka disocia indico, depona indico, sed ankaŭ povas efike redukti "gutetojn" en la procezo de malgranda ebena multarka celo deponado, povas deponi kaj prepari malaltan porecon de metalaj filmoj, kunmetitaj filmoj.Se Al kaj Si estas utiligitaj kiel la celmaterialoj por la ĝemelaj planaj magnetronceloj instalitaj ĉe la periferio, Al203 aŭ Si0 metal-ceramikaj filmoj povas esti deponitaj kaj preparitaj.Krome, pluraj malgrandaj aviadiloj de plur-arka vaporiĝfonto povas esti instalitaj ĉe la periferio, kaj ĝia celmaterialo povas esti Cr aŭ Ni, kaj metalaj filmoj kaj plurtavolaj kunmetitaj filmoj povas esti deponitaj kaj preparitaj.Sekve, ĉi tiu kompozita tega teknologio estas kunmetita tega teknologio kun multoblaj aplikoj.
Afiŝtempo: Nov-08-2022