GX600

El equipo adopta una estructura de puerta frontal vertical y un diseño de grupo.Puede equiparse con fuentes de evaporación para metales y varios materiales orgánicos, y puede evaporar obleas de silicio de diversas especificaciones.Equipado con un sistema de alineación de precisión, el recubrimiento es estable y tiene buena repetibilidad.
El equipo de recubrimiento GX600 puede evaporar de manera precisa, uniforme y controlada materiales orgánicos emisores de luz o materiales metálicos sobre el sustrato.Tiene las ventajas de una formación de película simple, alta pureza y alta compacidad.El sistema de monitoreo en tiempo real del espesor de la película completamente automático puede garantizar la repetibilidad y la estabilidad del proceso.Está equipado con una función de autofusión para reducir la dependencia de las habilidades del operador.
El equipo se puede aplicar a Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti y otros materiales metálicos, y se puede recubrir con película metálica, película de capa dieléctrica, película IMD, etc. Se utiliza principalmente en semiconductores. Industria, como dispositivos de potencia, revestimiento de sustrato de embalaje trasero de semiconductores, etc.