HFCVD0606

La cámara de revestimiento al vacío del equipo de deposición de vapor químico adopta una estructura de enfriamiento por agua de doble capa independiente, que es eficiente y uniforme en el enfriamiento, y tiene una estructura segura y estable.El equipo está diseñado con puertas dobles, múltiples ventanas de observación y múltiples interfaces de expansión, lo cual es conveniente para la conexión externa de periféricos auxiliares como medición de temperatura infrarroja, análisis espectral, monitoreo de video y termopar.El concepto de diseño avanzado hace que la revisión y el mantenimiento diarios, el cambio de configuración y la actualización del equipo sean fáciles y simples, y reduce efectivamente los costos de uso y actualización.

Características del equipo:

1. Los componentes de inflado del equipo incluyen principalmente medidor de flujo másico, válvula solenoide y tanque de mezcla de gas, que aseguran el control preciso del flujo de gas de proceso, mezcla uniforme y aislamiento seguro de diferentes gases, y pueden seleccionar componentes del sistema de gas para el uso de fuente de gas líquido, facilitan la selección personalizada de una amplia gama de fuentes de carbono líquido y el uso seguro de fuentes de boro líquido de electrodo y diamante conductor sintético.
2. El conjunto de extracción de aire está equipado con una bomba de vacío de paletas rotativas silenciosa y eficiente y un sistema de bomba turbomolecular que puede satisfacer rápidamente el entorno de fondo de alto vacío.El manómetro de vacío compuesto con manómetro de resistencia y manómetro de ionización se utiliza para medir el vacío, así como el sistema de manómetro de película capacitiva que puede medir la presión de diferentes gases de proceso en un amplio rango.La presión de deposición es completamente automática controlada por una válvula de control proporcional de alta precisión.
3. El componente de agua de refrigeración está equipado con presión de agua multicanal, flujo, medición de temperatura y monitoreo automático de software.Los diferentes componentes de enfriamiento son independientes entre sí, lo cual es conveniente para un diagnóstico rápido de fallas.Todas las sucursales tienen interruptores de válvulas independientes, lo cual es seguro y eficiente.
4. Los componentes de control eléctrico adoptan una pantalla LCD de interfaz hombre-máquina de gran tamaño y cooperan con el control completamente automático del PLC para facilitar la edición e importación de la fórmula del proceso.La curva gráfica muestra visualmente los cambios y valores de varios parámetros, y los parámetros del equipo y del proceso se registran y archivan automáticamente para facilitar el seguimiento de problemas y el análisis estadístico de datos.
5. El estante para piezas de trabajo está equipado con un servomotor para controlar la elevación y el descenso de la mesa de sustrato.Se puede seleccionar la mesa de sustrato de grafito o cobre rojo.La temperatura se mide con un termopar.
6. Los componentes del bastidor se pueden diseñar como un todo o por separado de acuerdo con los requisitos del cliente para cumplir con los requisitos especiales de manejo de los clientes.
7. Los componentes de la placa de sellado son hermosos y elegantes.Las placas de sellado en diferentes áreas de módulos funcionales del equipo se pueden desmontar rápidamente o abrir y cerrar de forma independiente, lo que es muy cómodo de usar.

El equipo CVD de filamento caliente es adecuado para depositar materiales de diamante, incluido el revestimiento de película delgada, película gruesa autoportante, diamante microcristalino y nanocristalino, diamante conductor, etc. Se utiliza principalmente para el revestimiento protector resistente al desgaste de herramientas de corte de carburo cementado, materiales semiconductores tales como silicio y carburo de silicio, revestimiento de disipación de calor de dispositivos, electrodo de diamante conductor dopado con boro, desinfección con ozono de agua electrolítica o tratamiento de aguas residuales.