1) Los objetivos cilíndricos tienen una tasa de utilización más alta que los objetivos planos.En el proceso de recubrimiento, ya sea que se trate de un objetivo de pulverización catódica de tipo magnético giratorio o de tubo giratorio, todas las partes de la superficie del tubo objetivo pasan continuamente a través del área de pulverización generada frente al imán permanente para recibir la pulverización catódica, y el el objetivo se puede pulverizar uniformemente y la tasa de utilización del objetivo es alta.La tasa de utilización de los materiales de destino es de aproximadamente 80% ~ 90%.
2) Los objetivos cilíndricos no serán fáciles de producir "envenenamiento de objetivos".Durante el proceso de recubrimiento, la superficie del tubo objetivo siempre es pulverizada y grabada por iones, y no es fácil acumular óxidos gruesos y otras películas aislantes en la superficie, y no es fácil producir "envenenamiento objetivo".
3) La estructura del objetivo de pulverización cilíndrica tipo tubo de objetivo giratorio es simple y fácil de instalar.
4) El material del tubo objetivo cilíndrico tiene varios tipos.objetivo plano con objetivo de metal enfriamiento directo por agua, y algunos no se pueden procesar y formar objetivos cilíndricos, como el objetivo In2-SnO2, etc. con material en polvo para prensado isostático en caliente para obtener objetivos en forma de placa, porque el tamaño no se puede hacer grande y quebradizo, por lo que es necesario utilizar un método de soldadura fuerte y una placa posterior de cobre para integrarlo y luego instalarlo en la base objetivo.Además de las tuberías de metal, los objetivos en columna también se pueden rociar sobre la superficie de las tuberías de acero inoxidable con varios materiales que deben recubrirse, como Si, Cr, etc.
En la actualidad, la proporción de blancos cilíndricos para recubrimiento en la producción industrial está aumentando.Los objetivos cilíndricos no solo se utilizan para la máquina de recubrimiento vertical, sino también para la máquina de recubrimiento de rollo a rollo.En los últimos años, los objetivos gemelos planos se reemplazan gradualmente por los objetivos gemelos cilíndricos.
——Este artículo fue publicado por Guangdong Zhenhua Technology, unafabricante de máquinas de revestimiento óptico.
Hora de publicación: 11-may-2023