Características comunes de la tecnología de recubrimiento de iones de descarga luminiscente mejorada

1. El sesgo de la pieza de trabajo es bajo

Debido a la adición de un dispositivo para aumentar la tasa de ionización, la densidad de corriente de descarga aumenta y el voltaje de polarización se reduce a 0.5~1kV.

Se reducen las salpicaduras provocadas por el bombardeo excesivo de iones de alta energía y el efecto de daño en la superficie de la pieza de trabajo.

2. Aumento de la densidad plasmática

Se agregaron varias medidas para promover la ionización por colisión, y la tasa de ionización del metal aumentó del 3 % a más del 15 %.La densidad de los iones chin y los átomos neutros de alta energía, los iones de nitrógeno, los átomos activos de alta energía y los grupos activos en la cámara de recubrimiento aumenta, lo que favorece la reacción para formar compuestos.Las diversas tecnologías mejoradas de recubrimiento de iones de descarga luminiscente mencionadas anteriormente han sido capaces de obtener capas de película dura TN por deposición de reacción a densidades de plasma más altas, pero debido a que pertenecen al tipo de descarga luminiscente, la densidad de corriente de descarga no es lo suficientemente alta (todavía el nivel de mA/cm2 ), y la densidad total del plasma no es lo suficientemente alta, y el proceso de revestimiento del compuesto de deposición de reacción es difícil.

3. El rango de recubrimiento de la fuente de evaporación puntual es pequeño

Varias tecnologías mejoradas de recubrimiento de iones utilizan fuentes de evaporación de haz de electrones y Gantu como fuente de evaporación puntual, que se limita a un cierto intervalo por encima de Gantu para la deposición de reacción, por lo que la productividad es baja, el proceso es difícil y es difícil de industrializar.

4. Operación de alta presión de pistola electrónica

El voltaje del cañón de electrones es de 6~30kV, y el voltaje de polarización de la pieza de trabajo es de 0,5~3kV, que pertenece a la operación de alto voltaje y tiene ciertos riesgos de seguridad.

——Este artículo fue publicado por Guangdong Zhenhua Technology, unafabricante de máquinas de revestimiento óptico.