Requisitos medioambientales para equipos de revestimiento al vacío

Desdeequipo de recubrimiento al vacíotrabaja en condiciones de vacío, el equipo debe cumplir con los requisitos de vacío para el medio ambiente.Los estándares de la industria para varios tipos de equipos de recubrimiento al vacío formulados en mi país (incluidas las condiciones técnicas generales para equipos de recubrimiento al vacío, equipos de recubrimiento de iones al vacío, equipos de recubrimiento por pulverización al vacío y equipos de recubrimiento por evaporación al vacío) tienen requisitos ambientales claramente estipulados.Solo al cumplir con los requisitos ambientales del equipo de recubrimiento al vacío, el equipo puede funcionar normalmente y, con el proceso de recubrimiento correcto, se pueden producir productos de recubrimiento calificados.

Los requisitos del entorno de vacío generalmente incluyen los requisitos del equipo de vacío para el entorno circundante, como la temperatura del laboratorio (o taller), la escasa ganancia en el aire y los requisitos para piezas o superficies en un estado de vacío o en una aspiradora.Estos dos aspectos están íntimamente relacionados.La calidad del entorno circundante afecta directamente el uso normal del equipo de vacío, y si la cámara de vacío del equipo de vacío o las piezas cargadas en ella se limpian directamente afecta el rendimiento del equipo.Si el aire contiene mucho vapor de agua y polvo, y la cámara de vacío no se ha limpiado, es difícil lograr el grado de vacío deseado usando una bomba mecánica sellada con aceite para bombear aire.Como todos sabemos, las bombas mecánicas selladas con aceite no son adecuadas para bombear gases que son corrosivos para los metales, químicamente reactivos con el aceite de vacío y que contienen partículas de polvo.El vapor de agua es un gas condensable.Cuando la bomba bombea una gran cantidad de gas condensable, la contaminación del aceite de la bomba será más grave.Como resultado, el vacío final de la bomba caerá y se destruirá el rendimiento de bombeo de la bomba.

Las condiciones normales de trabajo de los equipos de recubrimiento al vacío son:

① Temperatura ambiente 10~30℃;

② La humedad relativa no supera el 70%;

③ La temperatura de entrada del agua de refrigeración no supera los 25 °C;

④ Calidad del agua de refrigeración Agua del grifo de la ciudad o agua de calidad equivalente;

⑤Tensión de alimentación: 380V, trifásica 50Hz o 220V, monofásica 50Hz (dependiendo de las necesidades de los aparatos eléctricos utilizados), rango de fluctuación de voltaje 342~399V o 198~231V, rango de fluctuación de frecuencia 49~51Hz;

⑥La presión, la temperatura y el consumo deben indicarse en el manual de instrucciones del producto;

⑦ El ambiente alrededor del equipo está limpio y el aire está limpio, y no debe haber polvo o gas que pueda causar la corrosión de la superficie de los aparatos eléctricos y otras partes metálicas o causar conducción eléctrica entre los metales.

Además, el laboratorio o taller donde se encuentra el equipo de recubrimiento al vacío debe mantenerse limpio e higiénico.El suelo es de terrazo o tarima de madera pintada, libre de polvo.Para evitar que el gas descargado por la bomba mecánica contamine el entorno del laboratorio, se puede utilizar en el puerto de escape de la bomba.Instale un tubo de escape (metal, tubo de goma) en la superficie para descargar el gas al exterior.