La ley de crecimiento de la capa de película de recubrimiento por evaporación al vacío.

Durante el recubrimiento por evaporación, la nucleación y el crecimiento de la capa de película son la base de varias tecnologías de recubrimiento iónico.

1.Nucleación

Intecnología de recubrimiento por evaporación al vacíoDespués de que las partículas de la capa de película se evaporan de la fuente de evaporación en forma de átomos, vuelan directamente a la pieza de trabajo en alto vacío y forman la capa de película por nucleación y crecimiento en la superficie de la pieza de trabajo.Durante la evaporación al vacío, la energía de los átomos de la capa de película que escapan de la fuente de evaporación es de aproximadamente 0,2 eV.Cuando la cohesión entre las partículas de la capa de película es mayor que la fuerza de unión entre los átomos de la capa de película y la pieza de trabajo, se forma un núcleo de isla.Un átomo de una sola capa de película permanece en la superficie de la pieza de trabajo durante el tiempo que realiza un movimiento irregular, difusión, migración o colisión con otros átomos para formar grupos atómicos. El número de átomos en el grupo atómico alcanza un cierto valor crítico, un valor estable. se forma un núcleo, llamado núcleo de forma homogénea.

suave y contiene muchos defectos y pasos, lo que provoca la diferencia en la fuerza de adsorción de diferentes partes de la pieza de trabajo a los átomos radiactivos.La energía de adsorción de la superficie del defecto es mayor que la de la superficie normal, por lo que se convierte en el centro activo, lo que conduce a la nucleación preferencial, denominada nucleación heterogénea.Cuando la fuerza de cohesión es igual a la fuerza de unión, o la fuerza de unión entre los átomos de la membrana y la pieza de trabajo es mayor que la fuerza de cohesión entre los átomos de la membrana, se forma la estructura laminar.En la tecnología de recubrimiento iónico, en la mayoría de los casos se forma un núcleo de isla.

2. Crecimiento

Una vez que se forma el núcleo de la película, continúa creciendo atrapando los átomos incidentes. Las islas crecen y se combinan entre sí para formar hemisferios más grandes, formando gradualmente una capa de isla hemisférica que se extiende sobre la superficie de la pieza de trabajo.

Cuando la energía atómica de la capa de película es alta, puede difundirse lo suficiente en la superficie y se puede formar una película continua suave cuando los grupos atómicos entrantes subsiguientes son pequeños. Si la difusión de los átomos en la superficie es débil y el tamaño de los cúmulos depositados son grandes, existen como grandes núcleos peninsulares. La parte superior del núcleo de la isla tiene un fuerte efecto de sombreado en la parte cóncava, que es el "efecto de sombra". La proyección de la superficie es más propicia para capturar los átomos depositados posteriormente. y crecimiento preferencial, lo que resulta en un grado creciente de concavidad en la superficie para formar cristales cónicos o columnares de tamaño suficiente.Se forman vacíos penetrantes entre los cristales cónicos y aumenta el valor de rugosidad de la superficie. Se puede obtener tejido fino a alto vacío, con la disminución del grado de vacío, la microestructura de la membrana se vuelve más y más gruesa.