¿Cuáles son las fuentes de contaminación de los equipos de recubrimiento al vacío?

Elequipo de recubrimiento al vacíose compone de muchas piezas precisas, que se fabrican a través de muchos procesos, como soldadura, rectificado, torneado, cepillado, taladrado, fresado, etc.Debido a estos trabajos, la superficie de las piezas del equipo inevitablemente se contaminará con algunos contaminantes como grasa, suciedad de aceite, virutas de metal, fundente de soldadura, pasta para pulir, marcas de sudor, etc.Estos contaminantes son fáciles de volatilizar en condiciones de vacío, lo que afecta el vacío final del equipo.

Además, estos contaminantes del vacío del procesamiento mecánico absorben una gran cantidad de gas en el entorno de presión atmosférica y, en el estado de vacío, estos gases previamente adsorbidos también se liberarán nuevamente, convirtiéndose en un factor importante que limita el vacío límite.Por esta razón, los contaminantes deben eliminarse antes de ensamblar las piezas de la máquina de revestimiento al vacío.

Durante el uso de equipos de vacío, sus componentes también se contaminarán.Sin embargo, la contaminación de esta fuente se debe principalmente a las condiciones de uso y la bomba de vacío.

1. La evaporación del filamento del vacuómetro en condiciones de alta temperatura dará lugar a la formación de una película en el aislador de cerámica, lo que dañará en cierta medida la resistencia del aislamiento y también tendrá un cierto impacto en la precisión de su medición;

2. Debido a la evaporación a alta temperatura, se formará una película de metal en la superficie cerca del filamento del cañón de electrones en el vacío;

3. Debido a la pulverización catódica de la pieza de trabajo, la pared interna del equipo de grabado por haz de iones se contaminará con salpicaduras;

4. La pared interna del equipo de recubrimiento por evaporación al vacío estará contaminada por su material objetivo de evaporación;

5. El sistema de secado al vacío se usa a menudo y el sistema se contaminará con las sustancias evaporadas;

6. El aceite de la bomba de difusión y el aceite de la bomba mecánica en el equipo de recubrimiento al vacío también son una fuente importante de contaminación.Después de que la máquina de recubrimiento haya estado funcionando durante mucho tiempo, se puede formar una película de aceite dentro del equipo.

En resumen, el saneamiento al vacío de los equipos involucra el equipo de vacío, el sistema de vacío, la producción del proceso de vacío y otros aspectos y enlaces, así como los requisitos del propio equipo de recubrimiento al vacío y el proceso de vacío especial en las condiciones de uso.Por lo tanto, la contaminación por vacío es un problema digno de atención, ya que esta contaminación afectará el rendimiento del equipo, y se debe prestar atención a la limpieza regular o en cualquier momento.