El recubrimiento de la fuente de evaporación por resistencia es un método básico de recubrimiento por evaporación al vacío.“Evaporación” se refiere a un método de preparación de película delgada en el que el material de recubrimiento en la cámara de vacío se calienta y se evapora, de modo que los átomos o moléculas del material se vaporicen y escapen de la superficie, formando un fenómeno de flujo de vapor, que incide sobre la superficie del sustrato o sustrato, y finalmente se condensa para formar una película sólida.
El llamado método de recubrimiento de la fuente de evaporación por resistencia consiste en usar tantalio, molibdeno, tungsteno y otros metales de alto punto de fusión para crear una fuente de evaporación con la forma adecuada, que se carga con materiales para evaporar, deja que el aire fluya, calienta directamente y evaporar los materiales evaporados, o poner los materiales a evaporar en alúmina, óxido de berilio y otros crisoles para calentamiento indirecto y evaporación.Este es el método de evaporación por calentamiento por resistencia.
Elmáquina de recubrimiento por evaporación al vacíocalentado y evaporado por el calentador de resistencia tiene las ventajas de una estructura simple, bajo costo y uso confiable.Se puede utilizar para el recubrimiento por evaporación de materiales con bajo punto de fusión, especialmente para la producción en masa con bajos requisitos de calidad del recubrimiento.Hasta el momento, todavía hay una gran cantidad de procesos de recubrimiento de calentamiento por resistencia y evaporación que se utilizan en la producción de espejos aluminizados.
Las desventajas del método de recubrimiento por evaporación de la fuente de evaporación por resistencia son que la temperatura máxima que se puede alcanzar mediante el calentamiento es limitada y la vida útil del calentador también es corta.En los últimos años, con el fin de mejorar la vida útil de la fuente de evaporación de resistencia, la fábrica de equipos ha adoptado el material cerámico conductor sintetizado por nitruro de boro con una larga vida útil como fuente de evaporación.De acuerdo con un informe de patente japonés, puede usar materiales compuestos de 20%~30% de nitruro de boro y materiales refractarios que pueden fusionarse con él para hacer la fuente de evaporación (crisol), y recubrir su superficie con una capa de circonio que contiene 62% ~82%, y el resto son materiales de aleación de circonio y silicio.
Hora de publicación: 22-abr-2023