Esta serie de equipos utiliza objetivos de magnetrón para convertir los materiales de recubrimiento en partículas de tamaño nanométrico, que se depositan en la superficie de los sustratos para formar películas delgadas.La película enrollada se coloca en la cámara de vacío.A través de la estructura de bobinado accionada eléctricamente, un extremo recibe la película y el otro la coloca.Continúa pasando a través del área objetivo y recibe las partículas objetivo para formar una película densa.
Característica:
1. Formación de película a baja temperatura.La temperatura tiene poco efecto sobre la película y no producirá deformación.Es adecuado para películas en bobina de PET, PI y otros materiales base.
2. Se puede diseñar el espesor de la película.Se pueden diseñar y depositar recubrimientos delgados o gruesos mediante el ajuste del proceso.
3. Diseño de ubicación de destino múltiple, proceso flexible.Toda la máquina se puede equipar con ocho objetivos, que se pueden utilizar como objetivos metálicos simples o como objetivos compuestos y de óxido.Se puede utilizar para preparar películas monocapa con estructura simple o películas multicapa con estructura compuesta.El proceso es muy flexible.
El equipo puede preparar película de blindaje electromagnético, revestimiento de placa de circuito flexible, varias películas dieléctricas, película antirreflectante AR multicapa, película antirreflectante alta HR, película de color, etc. El equipo tiene una amplia gama de aplicaciones y deposición de película de una sola capa. se puede completar con una deposición de película de una sola vez.
El equipo puede adoptar blancos metálicos simples como Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., o blancos compuestos como SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.
El equipo es de tamaño pequeño, diseño de estructura compacta, área de piso pequeña, bajo consumo de energía y ajuste flexible.Es muy adecuado para la investigación y el desarrollo de procesos o la producción en masa de lotes pequeños.