Eksperimentaalne rull-rulli katmisseade võtab kasutusele magnetroni pihustamise ja katoodkaare ühendamise kattetehnoloogia, mis vastab nii kile kompaktsuse kui ka kõrge ionisatsioonikiiruse nõuetele.Seadmed on vertikaalse konstruktsiooniga ja tooriku mähissüsteem on vaakumkambrisse vertikaalselt paigaldatud.Mitme kambriga uksekonstruktsioon, katood on paigaldatud külguksele, saab paigaldada kuus komplekti katoodallikaid või iooniallikaid ning sihtmärki saab ukse avamisel säilitada või asendada.Seadmed võivad korraga läbi viia tooriku pinnatöötluse ja mitmekihilise katmise, et realiseerida mitmekihiline kile sadestamine.Sobib erinevate metallide või liitkattematerjalide jaoks.
Seadmel on ilusa välimuse, kompaktse struktuuri, väikese põrandapinna, kõrge automatiseerituse, lihtsa ja paindliku töö, stabiilse jõudluse ja hõlpsa hoolduse omadused.See sobib eriti hästi kasutamiseks laborites ja kolledžites.Kliendid saavad valida vastavalt oma erinevatele vajadustele.
Valikulised mudelid | Seadme suurus ( laius ) |
RCW300 | 300 mm |