Seadmed kasutavad elektronkiire aurustamise tehnoloogiat.Katoodi hõõgniidist eralduvad elektronid ja need fokusseeritakse teatud kiireks vooluks, mida kiirendab katoodi ja tiigli vaheline potentsiaal kattematerjali sulamiseks ja aurustamiseks.Sellel on kõrge energiatiheduse omadused ja see võib aurustada kattematerjali sulamistemperatuuriga üle 3000 ℃.Kile on kõrge puhtusega ja kõrge termilise efektiivsusega.
Seadmed on varustatud elektronkiire aurustusallika, iooniallika, kile paksuse jälgimissüsteemi, kile paksuse korrigeerimise struktuuri ja stabiilse vihmavarju tooriku pöörlemissüsteemiga.Iooniallika abil katmise abil suureneb kile kompaktsus, stabiliseerub murdumisnäitaja ja välditakse niiskusest tingitud lainepikkuse nihke nähtust.Täisautomaatne kile paksuse reaalajas jälgimise süsteem võib tagada protsessi korratavuse ja stabiilsuse.See on varustatud isesulava funktsiooniga, et vähendada sõltuvust operaatori oskustest.
Seadmeid saab kasutada erinevate oksiidide ja metallide kattematerjalide jaoks ning neid saab katta mitmekihiliste täppisoptiliste kiledega, nagu AR-kile, pika laine läbilaskevõime, lühilaine läbimine, helendav kile, AS / AF-kile, IRCUT, värvikile süsteem , gradientfilmisüsteem jne. Seda on laialdaselt kasutatud AR-prillides, optilistes läätsedes, kaamerates, optilistes läätsedes, filtrites, pooljuhtide tööstuses jne.