GX600

Seadmed kasutavad vertikaalset esiukse struktuuri ja klastri paigutust.Seda saab varustada metallide ja erinevate orgaaniliste materjalide aurustusallikatega ning aurustada erinevate spetsifikatsioonidega räniplaate.Täppisjoondussüsteemiga varustatud kate on stabiilne ja kate on hea korratavusega.
GX600 katmisseadmed suudavad täpselt, ühtlaselt ja kontrollitavalt aurustada aluspinnale orgaanilisi valgust kiirgavaid materjale või metallmaterjale.Selle eeliseks on lihtne kile moodustamine, kõrge puhtus ja suur kompaktsus.Täisautomaatne kile paksuse reaalajas jälgimise süsteem võib tagada protsessi korratavuse ja stabiilsuse.See on varustatud isesulava funktsiooniga, et vähendada sõltuvust operaatori oskustest.
Seadmeid saab kasutada Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ja muude metallmaterjalide jaoks ning neid saab katta metallkilega, dielektrilise kihi kilega, IMD-kilega jne. Seda kasutatakse peamiselt pooljuhtides. tööstusharu, näiteks toiteseadmed, pooljuhtide tagumise pakendi substraadi kate jne.