TOOTEKIRJELDUS

Katteliinil on modulaarne struktuur, mis võib suurendada kambrit vastavalt protsessi ja tõhususe nõuetele ning seda saab mõlemalt poolt katta, mis on paindlik ja mugav.Varustatud ioonpuhastussüsteemi, kiire küttesüsteemi ja alalisvoolu magnetroni pihustussüsteemiga, saab see tõhusalt katta lihtsa metallkatte.Seadmel on kiire löök, mugav kinnitus ja kõrge efektiivsus.

Pindamisliin on varustatud ioonpuhastus- ja kõrgtemperatuurse küpsetussüsteemiga, seega on ladestunud kile parem nakkuvus.Väikese nurga all pihustamine koos pöörleva sihtmärgiga on soodne kile ladestamiseks väikese ava sisepinnale.

1. Seadmel on kompaktne struktuur ja väike põrandapind.
2. Vaakumsüsteem on varustatud molekulaarpumbaga õhu eemaldamiseks, madala energiatarbimisega.
3. Materjaliriiuli automaatne tagastamine säästab tööjõudu.
4. Protsessi parameetreid saab jälgida ja tootmisprotsessi kogu protsessi vältel jälgida, et hõlbustada tootmisdefektide jälgimist.
5. Pindamisliinil on kõrge automatiseerituse tase.Seda saab kasutada koos manipulaatoriga esi- ja tagaprotsesside ühendamiseks ning tööjõukulude vähendamiseks.