HFCVD0606

Keemilise aurustamise-sadestamise seadmete vaakumkatte kambril on sõltumatu kahekihiline vesijahutusstruktuur, mis on jahutamisel tõhus ja ühtlane ning millel on ohutu ja stabiilne struktuur.Seadmed on konstrueeritud kahekordsete uste, mitme vaatlusakna ja mitme laiendusliidesega, mis on mugav lisavälisseadmete, nagu infrapuna temperatuuri mõõtmine, spektraalanalüüs, videoseire ja termopaar, väliseks ühendamiseks.Täiustatud disainikontseptsioon muudab igapäevase kapitaalremondi ja hoolduse, konfiguratsiooni muutmise ja seadmete uuendamise lihtsaks ja lihtsaks ning vähendab tõhusalt kasutus- ja uuendamiskulusid.

Seadme omadused:

1. Seadmete täitmiskomponendid hõlmavad peamiselt massivoolumõõturit, solenoidventiili ja gaasisegamispaaki, mis tagavad protsessigaasi voolu täpse juhtimise, ühtlase segamise ja erinevate gaaside ohutu isoleerimise ning saavad valida gaasisüsteemi komponendid kasutamiseks vedelgaasiallikas, hõlbustab paljude vedelate süsinikuallikate isikupärastatud valikut ning sünteetiliste juhtivate teemant- ja elektroodide vedela boori allikate ohutut kasutamist.
2. Õhu väljatõmbeseade on varustatud vaikse ja tõhusa pöörleva labaga vaakumpumbaga ja turbomolekulaarse pumbasüsteemiga, mis suudab kiiresti vastata kõrgvaakumi taustakeskkonnale.Vaakumi mõõtmiseks kasutatakse komposiitvaakummõõturit koos takistusmõõturi ja ionisatsioonimõõturiga, samuti mahtuvuslikku kilemõõturisüsteemi, mis suudab mõõta erinevate protsessigaaside rõhku laias vahemikus.Sadestamise rõhku juhib täisautomaatne ülitäpne proportsionaalne juhtventiil.
3.Jahutusvee komponent on varustatud mitme kanaliga veesurve, vooluhulga, temperatuuri mõõtmise ja tarkvara automaatse jälgimisega.Erinevad jahutuskomponendid on üksteisest sõltumatud, mis on mugav rikete kiireks diagnoosimiseks.Kõikidel harudel on sõltumatud klapilülitid, mis on ohutu ja tõhus.
4. Elektrilised juhtimiskomponendid võtavad vastu suuremõõtmelise inimese ja masina liidese LCD-ekraani ja teevad koostööd PLC täisautomaatse juhtimisega, et hõlbustada protsessivalemi redigeerimist ja importimist.Graafiline kõver kuvab visuaalselt erinevate parameetrite muutusi ja väärtusi ning seadmete ja protsesside parameetrid salvestatakse ja arhiveeritakse automaatselt, et hõlbustada probleemide jälgimist ja andmete statistilist analüüsi.
5.Tooriku raam on varustatud servomootoriga, et juhtida aluspinna tõstmist ja langetamist.Valida saab grafiidist või punasest vasest aluspinna tabeli.Temperatuuri mõõdetakse termopaari abil.
6. Racki komponente saab kujundada tervikuna või eraldi vastavalt kliendi nõudmistele, et rahuldada klientide erilisi käsitsemisnõudeid.
7. Tihendusplaadi komponendid on ilusad ja elegantsed.Seadmete erinevates funktsionaalsete moodulite piirkondades olevaid tihendusplaate saab kiiresti lahti võtta või iseseisvalt avada ja sulgeda, mis on väga mugav kasutada.

Kuumfilament-CVD-seadmed sobivad teemantmaterjalide, sealhulgas õhukese kilekatte, isekandva paksu kile, mikrokristallilise ja nanokristallilise teemandi, juhtiva teemandi jne sadestamiseks. Seda kasutatakse peamiselt tsementeeritud karbiidist lõikeriistade, pooljuhtmaterjalide kulumiskindla kaitsekatte jaoks. nagu räni ja ränikarbiid, seadmete soojust hajutav kate, booriga legeeritud juhtiv teemantelektrood, elektrolüütilise vee osooni desinfitseerimine või reoveepuhastus.