Seadmed integreerivad magnetroni pihustus- ja takistusaurustamise tehnoloogiat ning pakuvad lahendust mitmesuguste erinevate substraatide katmiseks.
Eksperimentaalseid katmisseadmeid kasutatakse peamiselt ülikoolides ja teadusasutustes ning need võivad vastata mitmesugustele katsenõuetele.Seadmetele on reserveeritud erinevad struktuurilised eesmärgid, mida saab paindlikult konfigureerida, et vastata erinevate valdkondade teaduslikule uurimis- ja arendustegevusele.Valida saab magnetroni pihustussüsteemi, katoodkaaresüsteemi, elektronkiire aurustussüsteemi, takistusaurustussüsteemi, CVD, PECVD, iooniallika, eelpingestuse süsteemi, küttesüsteemi, kolmemõõtmelist kinnitust jne.Kliendid saavad valida vastavalt oma erinevatele vajadustele.
Seadmel on ilusa välimuse, kompaktse struktuuri, väikese põrandapinna, kõrge automatiseerituse, lihtsa ja paindliku töö, stabiilse jõudluse ja hõlpsa hoolduse omadused.
Seadmeid saab kasutada plastikule, roostevabale terasele, galvaniseeritud riistvarale / plastosadele, klaasile, keraamikale ja muudele materjalidele.Valmistada saab lihtsaid metallikihte, nagu titaan, kroom, hõbe, vask, alumiinium või metalliühendkiled, nagu TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600 (mm) | φ600*H800 (mm) | φ800*H1000 (mm) |