Reaktiivne magnetroni pihustamine tähendab, et pihustamise käigus juhitakse reaktiivgaas, mis reageerib pihustatud osakestega, et tekitada liitkile.See võib varustada reaktiivgaasi, et reageerida samaaegselt pihustusühendi sihtmärgiga, ja ka reaktiivgaasi, et reageerida...
Loe rohkem