1) Silindriliste sihtmärkide kasutusmäär on kõrgem kui tasapinnalistel sihtmärkidel.Katmisprotsessis, olenemata sellest, kas tegemist on pöörleva magnetilise või pöörleva toru tüüpi silindrilise pihustussihikuga, läbivad kõik sihttoru pinna osad pidevalt katoodpommituse vastuvõtmiseks püsimagneti ees tekitatud pihustusala ja sihtmärki saab ühtlaselt pihustada ja selle kasutusmäär on kõrge.Sihtmaterjalide kasutusmäär on umbes 80–90%.
2) Silindrilisi sihtmärke ei ole lihtne tekitada "sihtmärgimürgistus".Katmise käigus pihustatakse ja söövitatakse sihttoru pind alati ioonide poolt ning pinnale ei ole kerge koguda pakse oksiide ja muid isoleerkilesid ning "sihtmärgimürgitust" pole lihtne tekitada.
3) Pöörleva sihttoru tüüpi silindrilise pihustussihiku struktuur on lihtne ja hõlpsasti paigaldatav.
4) Silindrilist sihttoru materjali on erinevat tüüpi.tasapinnaline sihtmärk metallist sihikuga otsese vesijahutusega ja mõnda ei saa töödelda ega moodustada silindrilisi sihtmärke, näiteks In2-SnO2 sihtmärk jne pulbermaterjaliga kuumisostaatiliseks pressimiseks, et saada plaaditaolisi sihtmärke, kuna suurust ei saa teha suur ja rabe, seetõttu tuleb integreerimiseks ja seejärel sihtalusele paigaldamiseks kasutada kõvajoodisega jootmismeetodit ja vasest tagaplaati.Roostevabast terasest torude pinnale saab lisaks metalltorudele pihustada ka sammassihte erinevate katmist vajavate materjalidega nagu Si, Cr jne.
Praegu kasvab silindriliste sihtmärkide osakaal tööstuslikus tootmises katmiseks.Silindrilisi sihtmärke ei kasutata mitte ainult vertikaalse katmismasina jaoks, vaid ka rull-rulli katmismasinas.Viimastel aastatel on tasapinnalised kaksiksihtmärgid järk-järgult asendatud silindriliste kaksiksihtmärkidega.
——Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua Technology, aoptiliste katmismasinate tootja.
Postitusaeg: mai-11-2023