1. Tooriku kalle on väike
Ionisatsioonikiirust suurendava seadme lisamise tõttu suureneb tühjendusvoolu tihedus ja eelpinge vähendatakse 0,5-1 kV-ni.
Suure energiaga ioonide liigsest pommitamisest põhjustatud tagasipursistus ja tooriku pinnale avalduv kahjustus väheneb.
2. Suurenenud plasma tihedus
Lisatud on erinevaid kokkupõrkeionisatsiooni soodustavaid meetmeid ning metallide ionisatsioonimäär on kasvanud 3%-lt enam kui 15%-le.Lõua ioonide ja suure energiaga neutraalsete aatomite, lämmastikuioonide, suure energiaga aktiivsete aatomite ja aktiivsete rühmade tihedus kattekambris on suurenenud, mis soodustab ühendite moodustumise reaktsiooni.Ülaltoodud mitmesugused täiustatud hõõglahendusega ioonkatte tehnoloogiad on suutnud saada TN kõvakilekihte reaktsioonisadestamise teel suurema plasmatiheduse korral, kuid kuna need kuuluvad hõõglahenduse tüüpi, ei ole tühjendusvoolu tihedus piisavalt kõrge (ikka mA/cm2 tase ) ja üldine plasma tihedus ei ole piisavalt kõrge ning reaktsioonisadestamise protsess ühendi katmiseks on keeruline.
3. Punktaurustusallika kattevahemik on väike
Erinevad täiustatud ioonkatte tehnoloogiad kasutavad elektronkiire aurustumisallikaid ja gantu punkt-aurustusallikana, mis on reaktsioonisadestamise jaoks piiratud teatud intervalliga gantu kohal, seega on tootlikkus madal, protsess on keeruline ja seda on raske industrialiseerida.
4. Elektroonilise püstoli kõrgsurvetöö
Elektronpüstoli pinge on 6–30 kV ja tooriku eelpinge on 0,5–3 kV, mis kuulub kõrgepinge töösse ja millel on teatud ohutusriskid.
——Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua Technology, aoptiliste katmismasinate tootja.
Postitusaeg: mai-12-2023