Kuuma traadi kaarega täiustatud plasma keemilise aurustamise-sadestamise tehnoloogia kasutab kuuma traadi kaarpüstolit kaareplasma väljastamiseks, mida lühendatakse kui kuumtraadikaare PECVD tehnoloogiat.See tehnoloogia sarnaneb kuuma traadi kaarpüstoli ioonkatte tehnoloogiaga, kuid erinevus seisneb selles, et kuuma traadi kaarpüstoli ioonkattega saadud tahke kile kasutab kuuma traadi kaarpüstoli kiirgavat kaarevalguse elektronvoogu metalli soojendamiseks ja aurustamiseks. tiigel, samas kui kuuma traadi kaarvalgusti PECVD toidetakse reaktsioonigaasidega, nagu CH4 ja H2, mida kasutatakse teemantkilede sadestamiseks.Tuginedes kuuma traadi kaarepüstoli kiirgavale suure tihedusega kaarelahendusvoolule, ergastatakse reaktiivseid gaasiioone erinevate aktiivsete osakeste saamiseks, sealhulgas gaasiioonid, aatomioonid, aktiivsed rühmad jne.
Kuuma traadi kaare PECVD seadmes on kaks elektromagnetilist mähist endiselt paigaldatud katmisruumist väljapoole, mis põhjustab suure tihedusega elektronide voolu pöörlemise anoodi poole liikumise ajal, suurendades kokkupõrke ja ionisatsiooni tõenäosust elektronide voolu ja reaktsioonigaasi vahel. .Elektromagnetiline mähis võib kogu sadestuskambri plasmatiheduse suurendamiseks koonduda ka kaarkolonniks.Kaarplasmas on nende aktiivsete osakeste tihedus suur, mis muudab teemantkilede ja muude kilekihtide toorikule kandmise lihtsamaks.
——Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua Technology, aoptiliste katmismasinate tootja.
Postitusaeg: mai-05-2023