1. Termiline CVD tehnoloogia
Kõvad pinnakatted on enamasti metallkeraamilised pinnakatted (TiN jne), mis tekivad metalli reaktsioonil kattekihis ja reaktiivsel gaasistamisel.Algul kasutati termilist CVD-tehnoloogiat kombineeritud reaktsiooni aktiveerimisenergia saamiseks soojusenergia abil kõrgel temperatuuril 1000 ℃.See temperatuur sobib ainult TiN ja muude kõvade kattekihtide pealekandmiseks tsementeeritud karbiidtööriistadele.Siiani on TiN-Al20 komposiitkatete katmine tsementeeritud karbiidist tööriistapeadele endiselt oluline tehnoloogia.
2. Õõneskatoodi ioonkate ja kuuma traadi kaare ioonkate
1980. aastatel kasutati kaetud lõikeriistade ladestamiseks õõneskatood-ioonkatet ja kuumtraadikaare ioonkatet.Mõlemad ioonkatte tehnoloogiad on kaarlahendusega ioonkatte tehnoloogiad, mille metalli ionisatsioonimäär on kuni 20–40%.
3. Katoodkaare ioonkate
Katoodkaare ioonkatte tekkimine on toonud kaasa kõvade katete vormidele kandmise tehnoloogia väljatöötamise.Katoodkaare ioonkatte ionisatsioonikiirus on 60% ~ 90%, mis võimaldab suurel hulgal metalliioonidel ja reaktsioonigaasiioonidel jõuda tooriku pinnale ja säilitada siiski kõrge aktiivsuse, mille tulemuseks on reaktsioonisadenemine ja kõvade kattekihtide moodustumine, näiteks TiN.Praegu kasutatakse katoodkaare ioonide katmise tehnoloogiat peamiselt kõvade katete katmiseks vormidele.
Katoodkaare allikas on tahkis-aurustusallikas ilma fikseeritud sulabasseinita ja kaareallika asukohta saab meelevaldselt paigutada, parandades katteruumi ruumikasutust ja suurendades ahju laadimisvõimsust.Katoodkaare allikate kujundite hulka kuuluvad väikesed ümmargused katoodkaare allikad, sammaskaare allikad ja ristkülikukujulised lamedad suured kaareallikad.Väikese kaare allikate, sammaskaare allikate ja suurte kaareallikate erinevaid komponente saab paigutada eraldi mitmekihiliste kilede ja nano mitmekihiliste kilede sadestamiseks.Samal ajal võivad metalliioonid katoodkaare ioonkatte kõrge metalliionisatsioonikiiruse tõttu absorbeerida rohkem reaktsioonigaase, mille tulemuseks on lai protsessivahemik ja lihtne toiming suurepäraste kõvade kattekihtide saamiseks.Katoodkaare ioonkatmisel saadud kattekihi mikrostruktuuris on aga jämedaid piisakesi.Viimastel aastatel on kilekihi struktuuri täpsustamiseks välja tulnud palju uusi tehnoloogiaid, mis on parandanud kaare ioonkattekile kvaliteeti.
——Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua Technology, aoptiliste katmismasinate tootja.
Postitusaeg: 28. aprill 2023