Õõneskatoodi ioonide katmise protsess on järgmine:
1. Asetage lõua valuplokid kokkuvarisemisse.
2, tooriku paigaldamine.
3、Pärast 5 × 10-3Pa evakueerimist juhitakse hõbedasest torust kattekambrisse argoongaas ja vaakumi tase on umbes 100 Pa.
4. Lülitage kaldtoide sisse.
5、Pärast kaaretoite sisselülitamist õõneskatoodilahenduse süütamiseks. Hõõglahendus genereeritakse nuputorus, tühjenduspinge on 800–1000 V, kaaretõstmise vool on 30–50 A. Tänu õõneskatoodiga hõõgumisele tühjenemine, suur hõõglahenduse voolutihedus, rotiioonide suur tihedus hõbedases torus pommitab vaatetoru seina kaarlahendus, pinge on 40–70 V, vool on 80–300 A. Hõbetoru temperatuur ulatub üle 2300 K, hõõglamp, kiirgab torust suure tihedusega kaareelektronide voo ja lastakse anoodile.
6, vaakumitaseme reguleerimine. Õõneskatoodpüstoli hõõglahenduse vaakumi tase on umbes 100 Pa ja katte vaakumaste on 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Seetõttu vähendage pärast kaarelahenduse süttimist sissetulevat argooni gaasi niipea kui võimalik, reguleerige vaakumi tase katmiseks sobivasse vahemikku.
7 、Titaaniga kaetud aluskiht.Elektronide vool anoodiliselt kokkuvarisenud Chin-metalli valuplokile,Kineetilise energia muundamine soojusenergiaks,Chin metalli aurustamine kuumutamisel,Auruaatomid jõuavad toorikuni, moodustades titaankile.
8、TiN-i sadestamine.Katmiskambrisse juhitakse lämmastik, gaas ja aurustunud aatomid ioniseeritakse lämmastiku- ja titaanioonideks. Tiigli kohal on suurem tõenäosus titaaniaurude aatomite mitteelastsete kokkupõrgete tekkeks tihedate madala energiatarbega elektronide voogudega. Metalli dissotsiatsioonikiirus on kuni 20% ~ 40%., Titaanioonid reageerivad tõenäolisemalt keemiliselt reaktsioonigaasi lämmastikuga, Sadestumine nitriidkattekihi saamiseks. Õõneskatoodpüstol on nii aurustumisallikas, teine allikas. ionisatsioonist.Katmise ajal tuleks reguleerida ka tiigli ümber oleva elektromagnetilise mähise voolu,Fokuseerida elektronkiir kokkuvarisemise keskpunkti,Seega suureneb elektronide voolu võimsustihedus.
9、Toide väljas. Kui kile paksus saavutab etteantud kile paksuse, lülitage kaare toiteallikas välja, eelpingestatud toiteallikas ja õhuvarustus.
Postitusaeg: juuli-08-2023