Väikese kaareallika ioonide katmise protsess

Katoodkaareallika ioonkatmise protsess on põhimõtteliselt sama, mis teiste katmistehnoloogiate puhul ning mõningaid toiminguid, nagu toorikute paigaldamine ja tolmuimeja, enam ei korrata.

1.Toorikute pommipuhastus

Enne katmist juhitakse katmiskambrisse argoongaas vaakumiga 2×10-2Pa.

Lülitage sisse impulsi eelpinge toiteallikas, mille töötsükkel on 20% ja tooriku eelpinge on 800–1000 V.

Kaartoite sisselülitamisel tekib külmavälja kaarvalguslahendus, mis kiirgab kaareallikast välja suure hulga elektronivoolu ja titaanioonide voolu, moodustades suure tihedusega plasma.Titaaniioon kiirendab toorikule avaldatava negatiivse suure eelpinge rõhu all selle süstimist töödeldavasse detaili, pommitades ja pihustades töödeldava detaili pinnale adsorbeerunud jääkgaasi ja saasteaineid ning puhastades ja puhastades tooriku pinda;Samal ajal ioniseeritakse katmiskambris olev kloorgaas elektronidega ja argooniioonid kiirendavad töödeldava detaili pinna pommitamist.

Seetõttu on pommitamise puhastusefekt hea.Ainult umbes 1-minutiline pommitamispuhastus võib töödeldavat detaili puhastada, mida nimetatakse "peakaare pommitamiseks".Titaanioonide suure massi tõttu, kui töödeldava detaili pommitamiseks ja puhastamiseks kasutatakse liiga kaua väikest kaareallikat, on tooriku temperatuur altid ülekuumenemisele ja tööriista serv võib muutuda pehmeks.Üldtootmises lülitatakse väikese kaare allikad sisse ükshaaval ülalt alla ja iga väikese kaare allika pommitamise puhastusaeg on umbes 1 minut.

(1) Titaani alumise kihi katmine

Kile ja aluspinna vahelise nakkuvuse parandamiseks kaetakse tavaliselt enne titaannitriidi katmist puhta titaansubstraadi kiht.Reguleerige vaakumi tase väärtusele 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, reguleerige tooriku eelpinge 400-500 V ja reguleerige impulsi eelpinge toiteallika töötsükkel 40% ~ 50%.Väikeste kaareallikate süütamine ikka ükshaaval, et tekitada külmavälja kaarelahendus.Tooriku negatiivse eelpinge vähenemise tõttu väheneb titaanioonide energia.Pärast toorikuni jõudmist on pihustusefekt väiksem kui sadestamise efekt ja töödeldavale detailile moodustub titaanist üleminekukiht, et parandada titaannitriidi kõvakile kihi ja aluspinna vahelist sidejõudu.See protsess on ka töödeldava detaili kuumutamise protsess.Kui puhtast titaanist sihtmärk tühjeneb, on plasma valgus taevasinine.

1.Ammoniaagiga kaetud kaussi kõva kilekate

Reguleerige vaakumi aste väärtusele 3 × 10^-1-5Pa, reguleerige tooriku eelpinge 100-200 V-ni ja reguleerige impulsi eelpinge toiteallika töötsükkel 70% ~ 80%.Pärast lämmastiku sisestamist reageerib titaan kaarlahendusplasmaga, et sadestada titaannitriidi kõva kile.Sel hetkel on vaakumkambris oleva plasma valgus kirsipunane.Kui C₂H₂, O₂jm tutvustatakse, TiCN, TiO₂jne kilekihte saab saada.

–Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua, avaakumkatmismasina tootja