Aurustuskindluse allika kate on vaakumaurustamise põhimeetod.„Aurutamine” viitab õhukese kile valmistamise meetodile, mille käigus kattematerjali vaakumkambris kuumutatakse ja aurustatakse nii, et materjali aatomid või molekulid aurustuvad ja väljuvad pinnalt, moodustades auruvoolu nähtuse, mis langeb vaakumkambri pinnale. substraat või substraat ja lõpuks kondenseeritakse tahke kile moodustamiseks.
Nn vastupidava aurustusallika katmismeetodiks on tantaali, molübdeeni, volframi ja muude kõrge sulamistemperatuuriga metallide kasutamine, et luua sobiva kujuga aurustusallikas, mis on koormatud aurustatavate materjalidega, laseb õhul läbi voolata, soojendab otse ja aurustada aurustatud materjalid või panna aurustatavad materjalid alumiiniumoksiidi, berülliumoksiidi ja muudesse tiiglitesse kaudseks kuumutamiseks ja aurustamiseks.See on takistuskütte aurustamise meetod.
Thevaakum-aurustamise katmismasintakistusküttekehaga kuumutatud ja aurustatud eelisteks on lihtne struktuur, madal hind ja usaldusväärne kasutamine.Seda saab kasutada madala sulamistemperatuuriga materjalide aurustamiseks katmiseks, eriti masstootmiseks, mille kvaliteedinõuded on madalad.Siiani on aluminiseeritud peeglite tootmisel kasutusel veel suur hulk takistuskuumutamise ja aurustamise katmisprotsesse.
Resistentse aurustusallika aurustuskatmise meetodi puuduseks on see, et kuumutamisel saavutatav maksimaalne temperatuur on piiratud ning küttekeha kasutusiga on samuti lühike.Viimastel aastatel on seadmete tehas võtnud vastupidava aurustumisallika eluea pikendamiseks aurustumisallikaks pika elueaga boornitriidi sünteesitud juhtiva keraamilise materjali.Jaapani patendiaruande kohaselt võib see kasutada materjale, mis koosnevad 20–30% boornitriidist ja tulekindlatest materjalidest, mida saab sellega sulatada, et saada aurustumisallikas (tiigel), ning katta selle pind tsirkooniumikihiga, mis sisaldab 62%. ~82% ja ülejäänud on tsirkooniumi-räni sulamist materjalid.
Postitusaeg: 22. aprill 2023