Ioonkate tähendab, et reagendid või aurustunud materjalid sadestatakse substraadile gaasiioonide või aurustunud materjalide ioonpommitamise teel, samal ajal kui aurustunud materjalid dissotsieeruvad või gaas tühjendatakse vaakumkambris.Õõneskatoodiga kõvakatte seadmete tehniline põhimõte on õõneskatoodi ioonkate, mis on õõneskatoodilahendussadestamise tehnoloogia.
Õõneskatoodilahendussadestamise põhimõte: õõneskatoodilahendussadestamise tehnika kasutab plasmakiire tekitamiseks kuuma katoodilahendust ja katood on õõnes tantaaltoru.Katood ja abianood on üksteise lähedal, mis on kaks poolust, mis süütavad kaarelahenduse.
Õõneskatoodilahendussadestuspüstol süttib kahel viisil.
1, Katoodi tantaalitorule rakendatud kõrgsagedusliku elektrivälja kasutamine nii, et katood-tantaaltoru argoonigaas ioniseerub argooniioonideks ja seejärel käivitatakse katood-tantaalitoru poolt, mida pidevalt pommitatakse argooniioonidega, kuni kuumus soojeneb elektronide emissiooni miinimumtemperatuuri standard ja tekitavad plasma elektronkiire.
2, lisaanoodi ja katoodi tantaaltorus umbes 300 V alalispinge rakendamise vahel läheb katood-tantaaltoru siiski argoongaasi, 1Pa-10Pa argoongaasi rõhul, lisaanoodi ja katoodtantaaltoru hõõglahendusnähtus, argooniioonide pommitamine pommitab pidevalt katood-tantaaltoru, kuni temperatuurini 2300K-2400K, katood-tantaaltoru kiirgab suure hulga elektrone, muudetakse "hõõgulahenduselt" "kaarlahenduseks", seekord on pinge madal kui 30V-60V, siis nii kaua, kui katood ja anood toiteallika vahel, saate tekitada plasma elektronkiire.
Katoodkatte seadmed
1. Parandage püstoli algset struktuuri, algsest maksimaalsest voolust 230A kuni 280A.
2. Täiustage algset jahutussüsteemi struktuuri, alates algsest 4 ℃ jääveemasina jahutusest kuni toatemperatuuril jahutusvesi, säästes kasutajate elektrikulusid.
3, parandage algset mehaanilist ülekandestruktuuri, muutes selle magnetvedeliku ülekandestruktuuriks, kõrge temperatuur ei ummista pöörlevat raami.
4, efektiivne kattepind ¢ 650X1100, mahutab 750 X 1250X600 ülisuurte stantside ja hammasrataste tootjate ülipika ja väga suure mahuga.
Õõneskatood-ioonkatte masinat kasutatakse peamiselt tööriistade, vormide, suurte peeglivormide, plastvormide, nugade ja muude toodete katmiseks.
Postitusaeg: 07.11.2022