Tüüp | Nimi | Põhimõte | Töörõhu vahemik |
Mehaaniline pump | Ühe masina õlitihendi mehaaniline pump | Gaasi kokkusurumine ja tühjendamine masinate abil | 105--101 |
Topeltmasina õlitihendi mehaaniline pump | 105--102 | ||
Molekulaarpump | 101--108 | ||
Roots pump | 103--102 | ||
Auru sissepritsepump | Õli sissepritse pump | Gaasi ära kandmine aurujoa hooga | 101--107 |
Õli difusioonipump | 101--106 | ||
Elavhõbeda difusioonipump | 101--105 | ||
Kuivpump | Pihustav ioonpump | Gaaside absorbeerimine ja eemaldamine absorbeeriva kile abil, mis on moodustatud sublimatsiooni või pihustamise teel | 101--108 |
Titaanist sublimatsioonipump | 101--109 | ||
Adsorptsioonipump | Gaasi eemaldamine madala temperatuuriga pindadel füüsilise adsorptsiooni teel | 106--102 | |
Kondensaadi pump | 102--1011 | ||
Kondensaadi adsorptsioonipump | 102--1010 |
Postitusaeg: nov-08-2022