Vaakumplasmapuhastusseadmed kasutavad integreeritud struktuuri, mis on varustatud RF-ioonide puhastussüsteemiga, täisautomaatse juhtimisega, mugava kasutamise ja hooldusega.
RF-kõrgsagedusgeneraator võib genereerida suure tihedusega plasmat, aktiveerida, söövitada ja tuhastada tooriku pinda, eemaldada tõhusalt toote pinnalt tolmu ja rasva, vabastada pinna pinge ja saada tooriku pinnale mitmesuguseid modifikatsioone.
Seda kasutatakse kummi, klaasi, keraamika, metalli ja muude toodete puhul ning seda kasutatakse mikroelektroonika, LCD, LED, LCM, PCB trükkplaadi, pooljuhtpakendi, meditsiiniseadmete, bioteaduse katsete ja muudes valdkondades.