HFCVD0606

Lurrun-deposizio kimikoko ekipoen hutsean estaldura-ganberak geruza bikoitzeko ura hozteko egitura independentea hartzen du, eraginkorra eta uniformea ​​hoztean, eta egitura segurua eta egonkorra duena.Ekipamendua ate bikoitzekin, behaketa-leiho anitzekin eta hedapen-interfaze anitzekin diseinatuta dago, hau da, periferiko laguntzaileen kanpoko konexioetarako erosoa da, hala nola, tenperatura infragorrien neurketa, analisi espektrala, bideo monitorizazioa eta termoparea.Diseinu-kontzeptu aurreratuak ekipamenduaren eguneroko berriztapena eta mantentze-lanak, konfigurazio-aldaketak eta eguneratzeak erraz eta erraz egiten ditu, eta eraginkortasunez murrizten ditu erabilera- eta berritze-kostuak.

Ekipamenduaren ezaugarriak:

1.Ekipoaren inflazio-osagaiek batez ere masa-fluxu-neurgailua, solenoide balbula eta gasa nahasteko depositua dira, prozesuko gas-fluxuaren kontrol zehatza bermatzen dutenak, nahasketa uniformea ​​eta gas desberdinen isolamendu segurua, eta gas-sistemaren osagaiak hauta ditzakete erabiltzeko. gas likidoaren iturria, karbono likido-iturri sorta zabalaren hautaketa pertsonalizatua errazten du, eta diamante eroale sintetikoen eta elektrodoen boro likido iturrien erabilera segurua.
2.Airea erauzteko muntaia hutsune-ponpa birakari isil eta eraginkor batekin eta ponpa molekular turbo-sistema batekin hornituta dago, huts handiko atzeko ingurunea azkar bete dezakeena.Erresistentzia-neurgailu eta ionizazio-neurgailu dituen huts-neurgailu konposatua hutsean neurtzeko erabiltzen da, baita prozesuko gas ezberdinen presioa sorta zabalean neurtu dezakeen film kapazitiboko neurgailu sistema ere.Deposizio-presioa guztiz automatikoa da doitasun handiko kontrol balbula proportzionalaz kontrolatzen da.
3.Hozteko uraren osagaia kanal anitzeko uraren presioa, emaria, tenperatura neurtzea eta softwarearen monitorizazio automatikoa ditu.Hozte-osagai desberdinak elkarrengandik independenteak dira, eta hori komenigarria da matxurak azkar diagnostikatzeko.Adar guztiek balbula etengailu independenteak dituzte, segurua eta eraginkorra.
4. Kontrol elektrikoko osagaiek tamaina handiko gizon-makina interfazearen LCD pantaila hartzen dute eta PLC kontrol oso-automatikoarekin lankidetzan aritzen dira prozesuaren formula editatzea eta inportatzea errazteko.Kurba grafikoak hainbat parametroren aldaketak eta balioak bistaratzen ditu bisualki, eta ekipamenduak eta prozesuko parametroak automatikoki erregistratzen eta artxibatzen dira arazoen trazadura eta datuen analisi estatistikoa errazteko.
5.Piezaren rack serbo motor batekin hornituta dago substratuaren mahaiaren altxatzea eta jaistea kontrolatzeko.Grafitoa edo kobre gorria substratu taula hauta daiteke.Tenperatura termopare batek neurtzen du.
6.Rack osagaiak osorik edo bereizita diseinatu daitezke bezeroen eskakizunen arabera, bezeroen manipulazio-eskakizun bereziak betetzeko.
7.Zigilatzeko plakaren osagaiak ederrak eta dotoreak dira.Ekipoaren modulu funtzionalaren eremu desberdinetako zigilatzeko plakak modu independentean azkar desmuntatu edo ireki eta itxi daitezke, eta hori oso erosoa da erabiltzeko.

Filament beroko CVD ekipamendua egokia da diamante-materialak uzteko, film mehe estaldura, film lodi autosostengatzailea, diamante mikrokristalino eta nanokristalinoa, diamante eroalea, etab. hala nola, silizioa eta silizio karburoa, gailuen beroa xahutzeko estaldura, boro dopatutako diamante eroale-elektrodoa, ur elektrolitikoen ozono-desinfekzioa edo ur zikinen tratamendua.