1) Helburu zilindrikoek helburu planarrek baino erabilera-tasa handiagoa dute.Estaldura-prozesuan, birakari mota magnetiko bat edo hodi birakari motako sputtering helburu zilindriko bat den, xede-hodiaren gainazaleko zati guztiak etengabe pasatzen dira iman iraunkorraren aurrean sortutako sputtering eremutik katodo-sputtering jasotzeko, eta helburua uniformeki sputtered grabatu daiteke, eta helburuaren erabilera-tasa handia da.Helburuko materialen erabilera-tasa% 80 ~% 90 ingurukoa da.
2) Helburu zilindrikoek ez dute erraza izango "helburuko intoxikazioak" sortzea.Estaldura-prozesuan, xede-hodiaren gainazala beti ioiek sputted eta grabatzen dute, eta ez da erraza oxido lodiak eta beste film isolatzaile batzuk gainazalean metatzea, eta ez da erraza "helburuko intoxikazioak" sortzea.
3) Helburu birakarien hodi mota zilindriko sputtering xedearen egitura sinplea eta instalatzeko erraza da.
4) Helburuko hodi zilindrikoko materialak hainbat mota ditu.Helburu planarra ura hozteko zuzeneko metalezko xedearekin, eta batzuk ezin dira prozesatu eta helburu zilindrikorik osatu, hala nola In2-SnO2 helburua, eta abar hauts materialarekin, isostatiko beroa prentsatzeko plaka antzeko helburuak lortzeko, tamaina ezin delako egin. handia eta hauskorra, beraz, beharrezkoa da brazing metodoa eta kobrezko atzeko plaka erabiltzea integratzeko eta, ondoren, helburuko oinarrian instalatzeko.Metalezko hodiez gain, zutabe-helburuak ere ihinzta daitezke altzairu herdoilgaitzezko hodien gainazalean estali behar diren hainbat materialekin, hala nola Si, Cr, etab.
Gaur egun, industria-ekoizpenean estaldurarako helburu zilindrikoen proportzioa handitzen ari da.Helburu zilindrikoek estaltzeko makina bertikalerako ez ezik, roll to roll estaltzeko makina ere erabiltzen dute.Azken urteotan, helburu biki laukoak pixkanaka helburu biki zilindrikoek ordezkatzen dituzte.
——Artikulu hau Guangdong Zhenhua Technology-k kaleratu zuen, aestaldura optikoko makinen fabrikatzailea.
Argitalpenaren ordua: 2023-05-11