Magnetron sputtering printzipioa: elektroiek argon atomoekin talka egiten dute eremu elektrikoaren eraginez substratura azeleratzeko prozesuan, argon ioi eta elektroi ugari ionizatzen dituzte eta elektroiak substratura hegan egiten dute.Argon ioiak azeleratu egiten du xede-materiala bonbardatzeko eremu elektrikoaren eraginez, xede-atomo kopuru handi bat zipriztinduz, substratuan xede-atomo (edo molekula) neutro gisa metatzen diren film bat osatzeko.Elektroia sekundarioa substratura hegan egiteko bizkortzen denean, eremu magnetikoaren Lorentz indarraren eraginez, espiral eta zikloide forma konposatu bat aurkezten du xede gainazalean mugimendu zirkular batzuk egiteko.Elektroiak mugimendu-bide luzea ez ezik, xede-azaleratik gertu dagoen plasma eremuan dago oraindik eremu elektromagnetikoen teoriaren izpiaren bidez, eta bertan Ar kantitate handia ionizatzen da helburua bonbardatzeko, beraz, magnetroiaren deposizio-tasa. Sputtering estaldura gailua altua da.
Horrela, amagnetron sputtering estaldura ekipoakgaratu da, magnetron sputtering eta ioi estaldura teknologia integratzen dituena, eta kolorearen koherentzia eta https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1# hobetzeko irtenbide bat eskaintzen du. deposizio-tasa eta konposizio konposatuaren egonkortasuna.Produktu-eskakizun desberdinen arabera, berogailu-sistema, alborapen-sistema, ionizazio-sistema eta beste gailu batzuk hauta daitezke.Helburuaren banaketa malgutasunez doi daiteke eta filmaren uniformetasuna hobea da.Helburu-material desberdinekin, errendimendu hobea duen film konposatu bat presta daiteke.Ekipamenduak prestatutako estaldurak indar konposatu sendoaren eta trinkotasunaren abantailak ditu, gatz-ihinztatzearen erresistentzia, higadura-erresistentzia eta produktuaren gainazaleko gogortasuna eraginkortasunez hobetzeko eta errendimendu handiko estaldura prestatzeko baldintzak betetzen dituena.
Ekipamendua material aplikagarrietan aberatsa da, altzairu herdoilgaitzezko urez estalitako hardware/plastikozko piezak, beira, zeramika eta bestelako materialetarako erabil daitezkeenak.Batez ere produktu elektronikoen hardwarerako, goi-mailako erlojuak eta erlojuak, goi-mailako bitxiak eta marka larruzko produktuen eta beste produktu aberatsen hardwarerako erabiltzen da.
Argitalpenaren ordua: 2023-07-07