1. Piezen alborapena baxua da
Ionizazio-tasa handitzeko gailu bat gehituta, deskarga-korronte-dentsitatea handitu egiten da eta polarizazio-tentsioa 0,5 ~ 1kV-ra murrizten da.
Energia handiko ioien gehiegizko bonbardaketak eragindako backsputtering-a eta piezaren gainazalean kalte-efektua murrizten da.
2. Plasma-dentsitatea handitu
Talkaren ionizazioa sustatzeko hainbat neurri gehitu dira, eta metalaren ionizazio-tasa % 3tik % 15 baino gehiagora igo da.Kokotsa ioien eta energia handiko atomo neutroen, nitrogeno ioien, energia handiko atomo aktiboen eta estaldura ganberan dauden talde aktiboen dentsitatea handitzen da, eta horrek konposatuak osatzeko erreakzioa laguntzen du.Goiko distira-deskarga ioi-estaldura-teknologiek TN film gogorraren geruzak lortzeko gai izan dira plasma dentsitate handiagoetan erreakzio deposizioaren bidez, baina distira-deskarga motakoak direnez, deskarga-korronte-dentsitatea ez da nahikoa (oraindik mA/cm2 maila). ), eta plasma-dentsitate orokorra ez da nahikoa altua, eta erreakzio deposizio-konposatuen estaldura prozesua zaila da.
3. Puntu-lurruntze-iturriaren estaldura-tartea txikia da
Hobetutako ioi estaldura-teknologiek elektroi-sorta lurruntzeko iturriak erabiltzen dituzte, eta gantu puntuko lurrunketa-iturri gisa, gantu-tik gorako tarte jakin batera mugatzen dena erreakzio deposiziorako, beraz, produktibitatea baxua da, prozesua zaila da eta zaila da industrializatzea.
4. Pistola elektronikoaren presio handiko funtzionamendua
Elektroi-pistolaren tentsioa 6 ~ 30kV-koa da eta piezaren alborapenaren tentsioa 0,5 ~ 3kV-koa da, tentsio handiko funtzionamenduari dagokiona eta segurtasun arrisku batzuk ditu.
——Artikulu hau Guangdong Zhenhua Technology-k kaleratu zuen, aestaldura optikoko makinen fabrikatzailea.
Argitalpenaren ordua: 2023-05-12