Denok dakigun bezala, erdieroalearen definizioa eroale lehorren eta isolatzaileen arteko eroankortasuna duela da, metalaren eta isolatzaileen arteko erresistentzia, normalean giro-tenperaturan egon ohi dena 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm bitartekoa da.Azken urteetan, erdieroaleen konpainia handien hutsean erdieroaleen estaldura, argi dago bere egoera gero eta altuagoa dela, batez ere eskala handiko sistema integratuko zirkuituak garatzeko teknologiaren ikerketa metodoetan bihurketa magnetoelektrikorako gailuetarako, argi-igorlerako gailuetarako eta beste garapen-lanetarako.Hutseko erdieroaleen estaldurak zeregin garrantzitsua du.
Erdieroaleek berezko ezaugarriak, tenperatura eta ezpurutasun kontzentrazioa dituzte.Hutseko erdieroaleen estaldura-materialak bata bestearengandik bereizten dira, batez ere, osagaien konposatuengatik.Gutxi gorabehera denak boro, karbono, silizio, germanio, artseniko, antimonio, telurio, iodo eta abarretan oinarritzen dira, eta GaP, GaAs, lnSb eta abar gutxi batzuk. Oxido erdieroale batzuk ere badaude, hala nola FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, etab.
Hutsean lurruntzeak, sputtering estaldurak, ioi-estaldurak eta beste ekipoek hutsean erdieroaleen estaldura egin dezakete.Estaldura-ekipamendu hauek funtzionamendu-printzipioan desberdinak dira, baina denek material erdieroalearen estaldura materiala substratuan metatzen dute, eta substratuaren materiala denez, ez dago baldintzarik, erdieroalea izan daiteke edo ez.Horrez gain, propietate elektriko eta optiko desberdinak dituzten estaldurak presta daitezke bai ezpurutasunen difusioaren bidez, bai erdieroalearen substratuaren gainazalean ioiak ezarriz.Sortzen den geruza mehea, oro har, estaldura erdieroale gisa ere prozesatu daiteke.
Hutsean erdieroaleen estaldura ezinbesteko presentzia da elektronikan gailu aktibo zein pasiboetarako.Hutsean erdieroaleen estaldura teknologiaren etengabeko aurrerapenarekin, filmaren errendimenduaren kontrol zehatza posible bihurtu da.
Azken urteotan, estaldura amorfoak eta estaldura polikristalinoak aurrerapen azkarrak egin dituzte gailu fotoeroaleen, estalitako eremu-efektuko hodien eta eraginkortasun handiko eguzki-zelulen fabrikazioan.Horrez gain, hutseko erdieroaleen estaldura eta sentsoreen film mehearen garapena dela eta, materiala hautatzeko zailtasuna nabarmen murrizten du eta fabrikazio prozesua pixkanaka sinplifikatzen du.Hutsean erdieroaleen estaldura-ekipoak erdieroaleen aplikazioetarako beharrezko presentzia bihurtu dira.Ekipamendua oso erabilia da kamera-gailuen erdieroaleen estaldurarako, eguzki-zelulak, estalitako transistoreak, eremu-igorpena, katodo-argia, elektroi-igorpena, film mehearen sentsore elementuak, etab.
Magnetron sputtering estaldura-lerroa kontrol sistema guztiz automatiko batekin diseinatuta dago, ukipen-pantaila eroso eta intuitibo batekin giza-makina interfazearekin.Lerroa funtzioen menu oso batekin diseinatuta dago, ekoizpen-lerro osoaren osagaien, prozesu-parametroen ezarpenaren, funtzionamenduaren babesaren eta alarma-funtzioen funtzionamendu-egoeraren jarraipen osoa lortzeko.Kontrol elektrikoko sistema osoa segurua, fidagarria eta egonkorra da.Goiko eta beheko alde biko magnetron sputtering helburuz edo alde bakarreko estaldura sistemaz hornitua.
Ekipamendua zeramikazko plaketan, txip-tentsio handiko kondentsadoreetan eta beste substratu-estaldura batzuetan aplikatzen da, aplikazio-eremu nagusiak zirkuitu elektronikoen plakak dira.
Argitalpenaren ordua: 2022-07-2022