1. CVD termikoa teknologia
Estaldura gogorrak metal zeramikazko estaldurak dira batez ere (TiN, etab.), estalduran metalaren erreakzioan eta gasifikazio erreaktiboan sortzen direnak.Hasieran, CVD termiko teknologia erabiltzen zen konbinazio erreakzioaren aktibazio-energia energia termikoaren bidez 1000 ℃-ko tenperatura altuan emateko.Tenperatura hori Karburozko zementuzko tresnetan TiN eta beste estaldura gogor batzuk jartzeko bakarrik da egokia.Orain arte, teknologia garrantzitsua da oraindik TiN-Al20 estaldura konposatuak metatzeko karburozko zementuzko erreminten buruetan.
2. Katodo hutsezko ioi estaldura eta alanbre beroko arku ioi estaldura
1980ko hamarkadan, katodo hutsezko ioi estaldura eta hari beroko arku ioi estaldura estalitako ebaketa-tresnak uzteko erabiltzen ziren.Bi ioi-estaldura-teknologia hauek arku-deskargako ioi-estaldura-teknologiak dira, metalaren ionizazio-tasa % 20 ~ 40 artekoa dutenak.
3. Arku katodiko ioien estaldura
Arku katodikoen estaldura ioiaren agerpenak moldeetan estaldura gogorrak metatzeko teknologia garatu du.Arku katodikoen estalduraren ionizazio-tasa % 60 ~ % 90 da, metal ioi eta erreakzio-gas ioi kopuru handi bat piezaren gainazalera iristeko aukera ematen du eta oraindik ere jarduera handia mantentzen du, erreakzio deposizioa eta estaldura gogorren eraketa eraginez, esaterako. TiN.Gaur egun, arku katodiko ioien estalduraren teknologia moldeetan estaldura gogorrak uzteko erabiltzen da batez ere.
Arku katodoaren iturria egoera solidoko lurruntze-iturri bat da, urtutako igerileku finkorik gabe, eta arku-iturriaren posizioa arbitrarioki jar daiteke, estaldura-gelako espazioaren erabilera-tasa hobetuz eta labearen karga-ahalmena handituz.Arku katodo-iturrien formen artean, katodo zirkular txikiak, zutabe-arku-iturri eta lau angeluzuzeneko arku-iturri handiak daude.Arku-iturri txikien, zutabe-arku-iturrien eta arku-iturri handien osagai desberdinak bereizita antolatu daitezke geruza anitzeko filmak eta nano geruza anitzeko filmak uzteko.Bien bitartean, arku katodikoen estalduraren metal ionizazio tasa altua dela eta, metal ioiek erreakzio gas gehiago xurga ditzakete, prozesu sorta zabala eta funtzionamendu sinplea lortuz estaldura gogor bikainak lortzeko.Hala ere, arku katodiko ioi estalduraren bidez lortutako estaldura-geruzaren mikroegituran tanta lodiak daude.Azken urteotan, teknologia berri asko sortu dira pelikula-geruzaren egitura fintzeko, eta horrek arku ioien estaldura-filmaren kalitatea hobetu du.
——Artikulu hau Guangdong Zhenhua Technology-k kaleratu zuen, aestaldura optikoko makinen fabrikatzailea.
Argitalpenaren ordua: 2023-04-28