Plasmako polimerizazio zuzeneko prozesua

Plasmako polimerizazio zuzeneko prozesua

Plasma-polimerizazio-prozesua nahiko erraza da barruko elektrodoen polimerizazio-ekipoetarako eta kanpoko elektrodo-polimerizazio-ekipoetarako, baina parametroen hautaketa garrantzitsuagoa da Plasma polimerizazioan, parametroek polimero-filmen egituran eta errendimenduan eragin handiagoa baitute Plasma polimerizazioan zehar.

Plasma zuzeneko polimerizaziorako eragiketa-urratsak hauek dira:

(1) Aspiragailua

Huts-baldintzetan polimerizazioaren atzeko hutsunea 1,3 × 10-1Pa-ra ponpatu behar da.Oxigeno edo nitrogeno edukia kontrolatzeko baldintza bereziak behar dituzten polimerizazio-erreakzioetarako, atzeko hutsunearen eskakizuna are handiagoa da.

(2) Karga-erreakzio monomeroa edo gas eramailearen eta monomeroaren gas mistoa

Hutsaren gradua 13-130Pa da.Lana eskatzen duen plasma polimerizaziorako, fluxua kontrolatzeko modua eta emari-abiadura egokiak hautatuko dira, oro har 10,100 ml/min.Plasman, monomero molekulak ionizatu eta disoziatzen dira partikula energetikoak bonbardatuz, eta ondorioz, ioiak eta gene aktiboak bezalako partikula aktiboak sortzen dira.Plasmak aktibatutako partikula aktiboek plasma polimerizazioa jasan dezakete gas-fasearen eta fase solidoaren interfazean.Monomeroa Plasmaren polimerizazioaren aitzindari iturria da, eta sarrerako erreakzio gasak eta monomeroak nolabaiteko purutasuna izango dute.

(3) Kitzikapen elikadura-hornidura hautatzea

Plasma DC, maiztasun handiko, RF edo mikrouhinen energia iturriak erabiliz sor daiteke, polimerizaziorako plasma ingurune bat eskaintzeko.Elikatze-hornidura hautatzea polimeroaren egituraren eta errendimenduaren eskakizunen arabera zehazten da.

(4) Deskarga modua hautatzea

Polimeroen eskakizunetarako, Plasma-polimerizazioak bi deskarga-modu aukeratu ditzake: etengabeko deskarga edo pultsu-deskarga.

(5) Deskarga-parametroak hautatzea

Plasma-polimerizazioa egiterakoan, deskarga-parametroak kontuan hartu behar dira plasma-parametroetatik, polimeroen propietateetatik eta egitura-eskakizunetatik.Polimerizazioan aplikatutako potentziaren magnitudea huts-ganberaren bolumena, elektrodoaren tamaina, monomero-emaria eta egitura, polimerizazio-abiadura eta polimeroaren egitura eta errendimenduaren arabera zehazten da.Adibidez, erreakzio-ganberaren bolumena 1L bada eta RF Plasma polimerizazioa hartzen bada, deskarga-potentzia 10 ~ 30W bitartekoa izango da.Horrelako baldintzetan, sortutako plasma agregatu egin daiteke piezaren gainazalean film mehe bat eratzeko.Plasma polimerizazio-filmaren hazkunde-tasa elikadura-hornidura, monomero mota eta emari-abiadura eta prozesu-baldintzen arabera aldatzen da.Orokorrean, hazkunde-tasa 100nm/min ~ 1um/min da.

(6) Parametroen neurketa Plasmako polimerizazioan

Plasma polimerizazioan neurtu beharreko plasma-parametroak eta prozesu-parametroak honako hauek dira: deskarga-tentsioa, deskarga-korrontea, deskarga-maiztasuna, Elektroien tenperatura, dentsitatea, erreakzio-talde mota eta kontzentrazioa, etab.

——Artikulu hau Guangdong Zhenhua Technology-k kaleratu zuen, aestaldura optikoko makinen fabrikatzailea.