Ioi katodo hutsen estalduraren prozesua honako hau da:
1, Jarri Chin lingoteak kolapsoan.
2、Pieza muntatzea.
3、5 × 10-3Pa-ra ebakuatu ondoren, argon gasa estaldura ganberara sartzen da zilarrezko hoditik, eta huts-maila 100Pa ingurukoa da.
4、Piztu alborapenaren boterea.
5、Arku-potentzia piztu ondoren, katodo hutsaren deskarga pizteko. Distira-deskarga botoi-hodian sortzen da, Deskarga-tentsioa 800 ~ 1000V-koa da, Arku-igoera korrontea 30 ~ 50A da. Distiraren katodo hutsaren efektuaren ondorioz. Deskarga, Distira handiko deskargako korronte dentsitate, Zilarrezko hodiko arratoi ioien dentsitate handiak vantage hodiaren horma bonbardatzen du, Hodiaren horma azkar berotu elektroi-fluxuaren igorpenera, distira-deskargaren deskarga modua bat-bateko aldaketara arku-deskarga, Tentsioa 40 ~ 70V-koa da, Korrontea 80 ~ 300A-koa da. Zilarrezko hodiaren tenperatura 2300K-tik gorakoa da, Goritasuna, arku-elektroien dentsitate handiko korrontea igortzen du hoditik eta anodora jaurtitzen da.
6, Huts-mailaren doikuntza. Pistola katodo hutsaren distira deskargatzeko huts-maila 100 Pa ingurukoa da, eta estaldura-maila 8 × 10-1 ~ 2Pa da. Hori dela eta, arku-deskarga piztu ondoren, sarrerako argoia murriztu gasa ahalik eta azkarren,Doitu huts-maila estaldurarako egokia den tarte batera.
7、Titanioz estalitako oinarrizko geruza.Electroien fluxua anodikoki kolapsatutako Chin metalezko lingotean,Energia zinetikoa energia termiko bihurtzea,Chin metalaren lurrunketa berotuz,Lurrun atomoak piezara iristen dira titaniozko film bat osatzeko.
8、TiN-en deposizioa. Nitrogeno gasa estaldura-ganbera hornitzen da, Nitrogeno gasa eta lurrundutako atomoak nitrogeno eta titanio ioietan ionizatzen dira. Arragoaren gainean, energia baxuko elektroien korronte trinkoekin titanio-lurrun atomoen talka inelastikoen probabilitate handiagoa, Metalen disoziazio-tasa % 20 ~ 40 artekoa da, Titanio ioiek erreakzio gasaren nitrogenoarekin kimikoki erreakzionatzeko aukera gehiago dute, Deposizioa nitrurozko mantuaren film geruza bat lortzeko. Katodo hutsezko pistola lurrunizazio-iturri bat da, beste iturri bat. Ionizazioaren.Estaldura bitartean,Ragoaren inguruko bobina elektromagnetikoaren korrontea ere egokitu behar da,Fokatu elektroi-sorta kolapsoaren erdigunean,Horrela, elektroi-fluxuaren potentzia-dentsitatea handitzen da.
9、Itzali. Filmaren lodiera aurrez zehaztutako filmaren lodiera iritsi ondoren, itzali arkuaren hornidura、Alborapenaren elikadura eta aire hornidura.
Argitalpenaren ordua: 2023-08-08