Ioien estaldurak esan nahi du erreaktiboak edo lurrundutako materialak substratuan metatzen direla gas ioien edo lurrundutako materialen ioi-bonbardaketaren bidez, lurrundutako materialak disoziatu edo gasa huts-ganbera batean isurtzen diren bitartean.Katodo hutsezko estaldura gogorreko ekipamenduaren printzipio teknikoa katodo hutsezko ioi estaldura da, hau da, katodo hutsa deskargatzeko deposizio teknologia.
Katodo hutsen deskargaren deposizioaren printzipioari buruz: katodo hutsaren deskargaren deposizio-teknikak katodoaren deskarga beroa erabiltzen du plasma izpi bat sortzeko, eta katodoa tantalio-hodi hutsa da.Katodoa eta anodo laguntzailea elkarrengandik hurbil daude, hau da, arku-deskarga pizten duten bi poloak.
Katodo hutsa deskargatzeko deposizio pistola bi modutan pizten da.
1, maiztasun handiko eremu elektrikoa erabiltzea tantalio katodoko hodiari aplikatzen zaiona, katodoko tantalioko hodi argon gasaren ionizazioa argon ioietan sartu eta gero argon ioiek etengabe bonbardatzen duten katodo tantaloko hodiak abiarazi arte, beroa berotu arte. elektroien igorpenaren gutxieneko tenperatura estandarra eta plasma elektroi-sorta sortzea.
2, 300V DC tentsio inguruko aplikazioaren arteko anodo eta katodoko tantalioko hodi osagarrian, tantalio katodoko hodiak argon gasera pasatzen dira oraindik, 1Pa-10Pa argon gasaren presioan, anodo laguntzailea eta tantalioko katodoaren distira-deskargaren fenomenoa, argon ioien bonbardaketa sortzea etengabe bonbardatzen da katodoko tantalio-hodia, 2300K-2400K tenperaturara arte, katodoko tantalio-hodiak elektroi kopuru handia igortzen du, "distira deskarga"tik "arku deskarga" izatera aldatuko da, oraingoan tentsioa bezainbestekoa da. 30V-60V bezain baxua, gero elikadura-horniduraren arteko katodoa eta anodoa den bitartean, plasma elektroi-sorta sor dezakezu.
Estaldura katodikoaren ekipamendua
1 、 Hobetu jatorrizko pistolaren egitura, jatorrizko 230A-ko gehienezko korrontetik 280A-ra.
2, Hobetu jatorrizko hozte-sistemaren egitura, jatorrizko 4 ℃ izotz-uraren makina hoztetik giro-tenperaturan hozteko ura hozteko, erabiltzaileentzako elektrizitate kostua aurreztuz.
3, Hobetu jatorrizko transmisio mekanikoaren egitura, fluido magnetikoen transmisio egiturara aldatuta, tenperatura altuak ez du marko birakaria trabatuko.
4, estaldura-eremu eraginkorra ￠ 650X1100, 750 X 1250X600 tamaina handiko trokelak eta engranaje-fabrikatzaileentzako lekua har dezakete, oso bolumen handiarekin.
Ioi katodo hutsak estaltzeko makina erremintak, moldeak, ispilu-molde handiak, plastikozko moldeak, hobbing labanak eta beste produktu batzuk xaflatzeko erabiltzen da batez ere.
Argitalpenaren ordua: 2022-07-2022