Plasma hutsean garbitzeko ekipoek egitura integratua hartzen dute, RF ioi garbiketa sistemaz hornitua, kontrol guztiz automatikoaz, funtzionamendu erosoa eta mantentze-lanak.
RF maiztasun handiko sorgailuak dentsitate handiko plasma sor dezake, piezaren gainazala aktibatu, grabatu eta errautsa dezake, produktuaren gainazaleko hautsa eta koipea eraginkortasunez kendu, gainazaleko tentsioa askatu eta piezaren gainazalean hainbat aldaketa lor ditzake.
Kautxu, beira, zeramika, metal eta beste produktu batzuetarako aplikagarria da, eta mikroelektronika, LCD, LED, LCM, PCB zirkuitu plaka, erdieroaleen bilgarri, gailu mediko, bizitza zientzien esperimentu eta beste alor batzuetan aplikatzen da.