این تجهیزات از فناوری تبخیر پرتو الکترونی استفاده می کنند.الکترون ها از رشته کاتد ساطع می شوند و به جریان پرتو خاصی متمرکز می شوند که با پتانسیل بین کاتد و بوته برای ذوب و تبخیر مواد پوشش شتاب می گیرد.دارای ویژگی های چگالی انرژی بالا است و می تواند مواد پوشش را با نقطه ذوب بیش از 3000 ℃ تبخیر کند.این فیلم دارای خلوص بالا و راندمان حرارتی بالا است.
این تجهیزات مجهز به منبع تبخیر پرتو الکترونی، منبع یون، سیستم نظارت بر ضخامت فیلم، ساختار اصلاح ضخامت فیلم و سیستم چرخش قطعه کار چتر پایدار است.از طریق پوشش به کمک منبع یون، فشردگی فیلم افزایش مییابد، ضریب شکست تثبیت میشود و از پدیده تغییر طول موج در اثر رطوبت جلوگیری میشود.سیستم نظارت تمام اتوماتیک ضخامت فیلم می تواند تکرارپذیری و پایداری فرآیند را تضمین کند.مجهز به عملکرد خود ذوب برای کاهش وابستگی به مهارت های اپراتور است.
این تجهیزات برای اکسیدهای مختلف و مواد پوشش فلزی قابل استفاده است و می تواند با فیلم های نوری دقیق چند لایه مانند فیلم AR، عبور موج بلند، عبور موج کوتاه، فیلم روشن کننده، فیلم AS / AF، IRCUT، سیستم فیلم رنگی پوشش داده شود. ، سیستم فیلم گرادیان و غیره به طور گسترده در عینک های AR، لنزهای نوری، دوربین ها، لنزهای نوری، فیلترها، صنایع نیمه هادی و غیره استفاده شده است.