HFCVD0606

محفظه پوشش خلاء تجهیزات رسوب بخار شیمیایی یک ساختار خنک کننده آب دو لایه مستقل را اتخاذ می کند که در خنک سازی کارآمد و یکنواخت است و ساختار ایمن و پایدار دارد.این تجهیزات با درب های دوتایی، پنجره های مشاهده چندگانه و رابط های توسعه متعدد طراحی شده است که برای اتصال خارجی لوازم جانبی کمکی مانند اندازه گیری دمای مادون قرمز، تجزیه و تحلیل طیفی، نظارت تصویری و ترموکوپل مناسب است.مفهوم طراحی پیشرفته، تعمیرات اساسی و نگهداری روزانه، تغییر پیکربندی و ارتقاء تجهیزات را آسان و ساده می کند و به طور موثر هزینه های استفاده و ارتقا را کاهش می دهد.

ویژگی های تجهیزات:

1. اجزای تورم تجهیزات عمدتاً شامل جریان سنج جرمی، شیر برقی و مخزن مخلوط گاز است که کنترل دقیق جریان گاز فرآیند، اختلاط یکنواخت و ایمن سازی گازهای مختلف را تضمین می کند و می تواند اجزای سیستم گاز را برای استفاده انتخاب کند. منبع گاز مایع، انتخاب شخصی طیف گسترده ای از منابع کربن مایع و استفاده ایمن از الماس رسانای مصنوعی و منابع بور مایع الکترود را تسهیل می کند.
2. مجموعه استخراج هوا مجهز به یک پمپ خلاء پره ای دوار بی صدا و کارآمد و یک سیستم پمپ مولکولی توربو است که می تواند به سرعت محیط پس زمینه خلاء بالا را برآورده کند.گیج خلاء کامپوزیت با گیج مقاومت و یونیزاسیون برای اندازه گیری خلاء و همچنین از سیستم گیج فیلم خازنی استفاده می شود که می تواند فشار گازهای مختلف فرآیند را در محدوده وسیعی اندازه گیری کند.فشار رسوب کاملاً اتوماتیک توسط شیر کنترل تناسبی با دقت بالا کنترل می شود.
3. جزء آب خنک کننده با فشار آب چند کاناله، جریان، اندازه گیری دما و نظارت خودکار نرم افزار مجهز شده است.اجزای مختلف خنک کننده مستقل از یکدیگر هستند که برای تشخیص سریع عیب راحت است.همه شاخه ها دارای سوپاپ های مستقل هستند که ایمن و کارآمد است.
4. اجزای کنترل الکتریکی از صفحه نمایش LCD رابط انسان و ماشین با اندازه بزرگ استفاده می کنند و با کنترل تمام اتوماتیک PLC برای تسهیل ویرایش و واردات فرمول فرآیند همکاری می کنند.منحنی گرافیکی تغییرات و مقادیر پارامترهای مختلف را به صورت بصری نمایش می دهد و تجهیزات و پارامترهای فرآیند به طور خودکار ثبت و بایگانی می شوند تا ردیابی مشکل و تجزیه و تحلیل آماری داده ها تسهیل شود.
5. قفسه قطعه کار مجهز به موتور سروو برای کنترل بلند کردن و پایین آوردن میز بستر است.جدول بستر گرافیت یا مس قرمز را می توان انتخاب کرد.دما توسط ترموکوپل اندازه گیری می شود.
6. اجزای قفسه را می توان به طور کلی یا جداگانه با توجه به نیاز مشتری طراحی کرد تا نیازهای حمل و نقل ویژه مشتریان را برآورده کند.
7. اجزای صفحه آب بندی زیبا و ظریف هستند.صفحات آب بندی در مناطق مختلف ماژول عملکردی تجهیزات را می توان به سرعت جدا کرد یا به طور مستقل باز و بسته کرد که استفاده از آن بسیار راحت است.

تجهیزات CVD فیلامنت داغ برای رسوب گذاری مواد الماسی از جمله پوشش لایه نازک، فیلم ضخیم خود نگهدارنده، الماس ریز کریستالی و نانوبلور، الماس رسانا و غیره مناسب است. عمدتاً برای پوشش محافظ مقاوم در برابر سایش ابزارهای برش کاربید سیمانی، مواد نیمه هادی استفاده می شود. مانند سیلیکون و کاربید سیلیکون، پوشش اتلاف حرارت دستگاه ها، الکترود الماس رسانای دوپ شده با بور، ضدعفونی ازن آب الکترولیتی یا تصفیه فاضلاب.