این تجهیزات، فناوری کندوپاش مگنترون و تبخیر مقاومتی را ادغام می کند و راه حلی برای پوشش انواع زیرلایه های مختلف ارائه می دهد.
تجهیزات پوشش آزمایشی عمدتاً در دانشگاه ها و مؤسسات تحقیقاتی علمی استفاده می شود و می تواند انواع نیازهای آزمایشی را برآورده کند.اهداف ساختاری مختلفی برای تجهیزات در نظر گرفته شده است که می توانند به طور انعطاف پذیر پیکربندی شوند تا تحقیقات و توسعه علمی در زمینه های مختلف را برآورده کنند.سیستم کندوپاش مگنترون، سیستم قوس کاتدی، سیستم تبخیر پرتو الکترونی، سیستم تبخیر مقاومتی، CVD، PECVD، منبع یونی، سیستم بایاس، سیستم گرمایش، فیکسچر سه بعدی و غیره را می توان انتخاب کرد.مشتریان می توانند با توجه به نیازهای مختلف خود انتخاب کنند.
این تجهیزات دارای ویژگی های ظاهر زیبا، ساختار فشرده، مساحت کف کوچک، درجه اتوماسیون بالا، عملکرد ساده و انعطاف پذیر، عملکرد پایدار و تعمیر و نگهداری آسان است.
این تجهیزات را می توان برای پلاستیک، فولاد ضد زنگ، سخت افزار آبکاری / قطعات پلاستیکی، شیشه، سرامیک و سایر مواد اعمال کرد.لایههای فلزی ساده مانند تیتانیوم، کروم، نقره، مس، آلومینیوم یا فیلمهای ترکیبی فلزی مانند TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC را میتوان تهیه کرد.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |