با رشد سریع تقاضای بازار برای بهبود مقاومت در برابر سایش، روانکاری، مقاومت در برابر خوردگی و سایر خواص پوششهای سخت، تجهیزات پوشش یونی فیلتراسیون مغناطیسی قوس کاتدی به یک نقطه برجسته تبدیل شده است.این تجهیزات رایج ترین و مؤثرترین دستگاه فیلتر مغناطیسی بخش دایره ای زانویی 90 درجه را به کار می گیرد که می تواند به طور مؤثر ذرات بزرگ را حذف کند تا به مزایای فناوری پوشش یون قوس کاتدی کمک کند.در زمینه تهیه پوشش های فوق سخت DLC به ویژه در زمینه تهیه پوشش های Ta-C با خواص فیزیکی و شیمیایی بسیار عالی مانند سختی بالا، ضریب اصطکاک کم، هدایت حرارتی، عایق، جذب UV، مقاومت در برابر آسیب اشعه، مقاومت در برابر خوردگی. و غیره، مزایا به ویژه قابل توجه است.میانگین سختی پوششهای Ta-C میتواند تا حدود 63 گیگا پاسکال برسد.
این تجهیزات می توانند پوشش های کربنی هیبریدی مانند الماس مانند Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN را رسوب دهند که برای حفاری میکرو، فرز برش ها، شیرها، برش های میله ای، قطعات خودرو، دستگاه های پزشکی و غیره مناسب است. زمینه های.
نتایج آزمایش طیف رامان لیزری، طیف رامان لایه گذار کروم بر روی سطح فولاد پرسرعت:
نمونه 20210122، برازش گوسی نتایج آزمون رامان (ID/IG=0.224، محتوای sp3 به اندازه کافی بالاست):
با توجه به نتایج تست سختی دستگاه نانو تورفتگی، میانگین سختی نمونه 20210122 62.7GPa است:
MFA0605 |
φ600*H500(mm) |