ویژگی های مشترک فناوری پوشش یونی تخلیه درخشندگی پیشرفته

1. تعصب قطعه کار کم است

به دلیل افزودن دستگاهی برای افزایش نرخ یونیزاسیون، چگالی جریان تخلیه افزایش یافته و ولتاژ بایاس به 0.5 تا 1 کیلو ولت کاهش می یابد.

کندوپاشی ناشی از بمباران بیش از حد یون های پرانرژی و اثر آسیب بر سطح قطعه کار کاهش می یابد.

2. افزایش تراکم پلاسما

اقدامات مختلفی برای ترویج یونیزاسیون برخورد اضافه شده است و نرخ یونیزاسیون فلز از 3٪ به بیش از 15٪ افزایش یافته است.چگالی یون‌های چانه و اتم‌های خنثی پرانرژی، یون‌های نیتروژن، اتم‌های فعال پر انرژی و گروه‌های فعال در محفظه پوشش افزایش می‌یابد که منجر به واکنش برای تشکیل ترکیبات می‌شود.فناوری‌های مختلف پوشش یونی تخلیه درخشندگی تقویت‌شده فوق توانسته‌اند لایه‌های فیلم سخت TN را با رسوب واکنش در چگالی‌های بالاتر پلاسما به دست آورند، اما از آنجایی که این لایه‌ها به نوع تخلیه درخشان تعلق دارند، چگالی جریان تخلیه به اندازه کافی بالا نیست (هنوز سطح mA/cm2 ، و چگالی کلی پلاسما به اندازه کافی بالا نیست و فرآیند پوشش ترکیب رسوب واکنش دشوار است.

3. محدوده پوشش منبع تبخیر نقطه ای کوچک است

فن‌آوری‌های مختلف پوشش یونی تقویت‌شده از منابع تبخیر پرتو الکترونی و گانتو به عنوان منبع تبخیر نقطه‌ای استفاده می‌کنند که برای رسوب واکنش به یک فاصله معین بالاتر از گانتو محدود می‌شود، بنابراین بهره‌وری پایین است، فرآیند دشوار است و صنعتی کردن آن دشوار است.

4. اسلحه الکترونیکی عملیات فشار بالا

ولتاژ تفنگ الکترونی 6 ~ 30 کیلو ولت و ولتاژ بایاس قطعه کار 0.5 ~ 3 کیلو ولت است که متعلق به عملیات ولتاژ بالا است و دارای خطرات ایمنی خاصی است.

——این مقاله توسط Guangdong Zhenhua Technology منتشر شده استتولید کننده ماشین آلات پوشش نوری.