فرآیند پوشش یون کاتد توخالی

فرآیند پوشش یون کاتد توخالی به شرح زیر است:

1- شمش های چانه را در محل فروپاشی قرار دهید.

2- نصب قطعه کار

3، پس از تخلیه به 5×10-3Pa، گاز آرگون از لوله نقره ای به محفظه پوشش وارد می شود و سطح خلاء حدود 100Pa است.

4، برق بایاس را روشن کنید.

5، پس از روشن کردن برق قوس برای احتراق تخلیه کاتد توخالی. تخلیه درخشش در لوله دکمه ایجاد می شود، ولتاژ تخلیه 800 ~ 1000 ولت است، جریان افزایش دهنده قوس 30 تا 50 آمپر است. به دلیل اثر کاتد توخالی درخشش تخلیه، چگالی جریان تخلیه درخشندگی بالا، چگالی بالای یون های موش در لوله نقره ای دیواره لوله برتر را بمباران می کند، دیواره لوله را به سرعت گرم می کند تا جریان الکترون منتشر شود، حالت تخلیه از تخلیه درخشش ناگهانی به تخلیه قوس الکتریکی، ولتاژ 40 ~ 70 ولت، جریان 80 ~ 300 آمپر است. دمای لوله نقره ای به بالای 2300 کلوین می رسد، رشته ای، جریانی با چگالی بالا از الکترون های قوس را از لوله ساطع می کند و به آند شلیک می کند.

6، تنظیم سطح خلاء. سطح خلاء برای تخلیه درخشش از تفنگ کاتد توخالی حدود 100 Pa است، و درجه خلاء پوشش 8×10-1~2Pa است. بنابراین، پس از احتراق تخلیه قوس، آرگون ورودی را کاهش دهید. گاز را در اسرع وقت، سطح خلاء را در محدوده مناسب برای پوشش تنظیم کنید.

7. لایه پایه با اندود تیتانیوم. جریان الکترون بر روی شمش فلزی چانه که بصورت آندی فرو ریخته شده است، تبدیل انرژی جنبشی به انرژی حرارتی، تبخیر فلز چانه با حرارت دادن، اتم های بخار به قطعه کار می رسند تا یک فیلم تیتانیوم تشکیل دهند.

8، رسوب قلع. گاز نیتروژن به محفظه پوشش عرضه می شود، گاز نیتروژن و اتم های تبخیر شده به یون های نیتروژن و تیتانیوم یونیزه می شوند. بالاتر از بوته، احتمال بالاتر برخورد غیر کشسان اتم های بخار تیتانیوم با جریان های متراکم الکترون های انرژی کم، نرخ تفکیک فلز به اندازه 20٪ تا 40٪ است، یون های تیتانیوم به احتمال زیاد با نیتروژن گاز واکنش واکنش شیمیایی می دهند، برای به دست آوردن یک لایه فیلم گوشته نیترید رسوب می کنند. تفنگ کاتد توخالی هم منبع تبخیر است، هم منبع دیگری است. در حین پوشش، جریان سیم پیچ الکترومغناطیسی در اطراف بوته نیز باید تنظیم شود، پرتو الکترونی را به مرکز فروپاشی متمرکز کنید، بنابراین، چگالی توان جریان الکترون افزایش می یابد.

9، خاموش کردن برق. پس از اینکه ضخامت فیلم به ضخامت فیلم از پیش تعیین شده رسید، منبع تغذیه قوس الکتریکی را خاموش کنید، منبع تغذیه بایاس و منبع هوا را خاموش کنید.