اینتجهیزات پوشش خلاءاز بسیاری از قطعات دقیق تشکیل شده است که از طریق فرآیندهای بسیاری مانند جوشکاری، سنگ زنی، تراشکاری، تراشکاری، حفاری، فرز و غیره ساخته می شود.به دلیل این کارها، سطح قطعات تجهیزات به ناچار آلوده به برخی آلاینده ها مانند گریس، کثیفی روغن، براده های فلزی، شار جوش، خمیر پولیش، آثار عرق و غیره می شود.این آلاینده ها به راحتی در شرایط خلاء تبخیر می شوند و در نتیجه خلاء نهایی تجهیزات را تحت تأثیر قرار می دهند.
علاوه بر این، این آلاینده های خلاء حاصل از پردازش مکانیکی، مقدار زیادی گاز را در محیط فشار اتمسفر جذب می کنند و در حالت خلاء، این گازهای جذب شده قبلی نیز دوباره آزاد می شوند و به عامل اصلی محدود کننده خلاء حدی تبدیل می شوند.به همین دلیل قبل از مونتاژ قطعات دستگاه پوشش وکیوم آلاینده ها باید حذف شوند.
در حین استفاده از تجهیزات خلاء، اجزای آن نیز آلوده خواهند شد.اما آلودگی ناشی از این منبع عمدتاً ناشی از شرایط استفاده و پمپ خلاء است.
1. تبخیر فیلامنت وکیوم گیج در شرایط دمایی بالا منجر به تشکیل لایه ای بر روی عایق سرامیکی می شود که تا حدی به استحکام عایق آن آسیب وارد می کند و همچنین تأثیر خاصی در دقت آن دارد. اندازه گیری؛
2. به دلیل تبخیر دمای بالا، یک فیلم فلزی روی سطح نزدیک رشته تفنگ الکترونی در خلاء تشکیل می شود.
3. به دلیل کندوپاش قطعه کار، دیواره داخلی تجهیزات حکاکی پرتو یونی توسط پاشش آلوده می شود.
4. دیواره داخلی تجهیزات پوشش تبخیر خلاء توسط مواد هدف تبخیر آن آلوده خواهد شد.
5. سیستم خشک کردن خلاء اغلب استفاده می شود و سیستم توسط مواد تبخیر شده آلوده می شود.
6. روغن پمپ انتشار و روغن پمپ مکانیکی در تجهیزات پوشش خلاء نیز منبع اصلی آلودگی هستند.پس از اینکه دستگاه پوشش برای مدت طولانی کار کرد، ممکن است یک لایه روغن در داخل تجهیزات تشکیل شود.
به طور خلاصه، بهداشت خلاء تجهیزات شامل تجهیزات خلاء، سیستم خلاء، تولید فرآیند خلاء و سایر جنبه ها و پیوندها، و همچنین الزامات خود تجهیزات پوشش خلاء و فرآیند خلاء ویژه در شرایط استفاده است.بنابراین آلودگی وکیوم مشکلی است که در خور توجه است، زیرا این آلودگی‌ها بر عملکرد دستگاه تأثیر می‌گذارد و باید به نظافت منظم یا در هر زمانی توجه شود.
زمان ارسال: فوریه 21-2023