تجهیزات تمیز کردن پلاسما خلاء ساختار یکپارچه، مجهز به سیستم تمیز کردن یون RF، کنترل کاملا اتوماتیک، عملیات و نگهداری راحت را اتخاذ می کنند.
ژنراتور فرکانس بالا RF می تواند پلاسمای با چگالی بالا تولید کند، سطح قطعه کار را فعال، حکاکی و خاکستر کند، به طور موثر گرد و غبار و گریس روی سطح محصول را حذف کند، تنش سطح را آزاد کند و تغییرات مختلفی را روی سطح قطعه کار به دست آورد.
این برای لاستیک، شیشه، سرامیک، فلز و سایر محصولات قابل استفاده است و در میکروالکترونیک، LCD، LED، LCM، برد مدار PCB، بسته بندی نیمه هادی، دستگاه های پزشکی، آزمایش های علوم زیستی و سایر زمینه ها استفاده می شود.