HFCVD0606

Kemiallisen höyrypinnoituslaitteiston tyhjiöpinnoituskammiossa on itsenäinen kaksikerroksinen vesijäähdytysrakenne, joka on tehokas ja tasainen jäähdytyksessä ja jolla on turvallinen ja vakaa rakenne.Laitteessa on pariovet, useita havainnointiikkunoita ja useita laajennusliitäntöjä, mikä on kätevä lisäoheislaitteiden, kuten infrapunalämpötilan mittaus, spektrianalyysi, videovalvonta ja termopari, ulkoiseen kytkemiseen.Edistyksellinen suunnittelukonsepti tekee päivittäisestä kunnostuksesta ja huollosta, konfiguraatioiden muuttamisesta ja päivittämisestä helppoa ja yksinkertaista sekä vähentää tehokkaasti käyttö- ja päivityskustannuksia.

Laitteen ominaisuudet:

1. Laitteen täyttökomponentit sisältävät pääasiassa massavirtausmittarin, solenoidiventtiilin ja kaasun sekoitussäiliön, jotka varmistavat prosessikaasun virtauksen tarkan hallinnan, tasaisen sekoituksen ja eri kaasujen turvallisen eristyksen ja voivat valita kaasujärjestelmän komponentteja käytettäväksi nestemäisen kaasun lähde, helpottaa monenlaisten nestemäisten hiilen lähteiden yksilöllistä valintaa ja synteettisten johtavien timantti- ja elektrodinestemäisten boorilähteiden turvallista käyttöä.
2.Ilmanpoistokokoonpano on varustettu hiljaisella ja tehokkaalla pyörivällä siipivakuumipumpulla ja turbomolekyylipumpulla, joka pystyy nopeasti vastaamaan korkean tyhjiön taustaympäristöön.Komposiittityhjiömittaria, jossa on vastusmittari ja ionisaatiomittari, käytetään alipainemittaukseen sekä kapasitiivinen kalvomittarijärjestelmä, joka pystyy mittaamaan erilaisten prosessikaasujen painetta laajalla alueella.Päällystyspainetta ohjataan täysin automaattisesti tarkalla suhteellisella säätöventtiilillä.
3.Jäähdytysvesikomponentti on varustettu monikanavaisella vedenpaineen, virtauksen, lämpötilan mittauksella ja ohjelmiston automaattisella valvonnalla.Eri jäähdytyskomponentit ovat toisistaan ​​riippumattomia, mikä on kätevää nopeaan vianmääritykseen.Kaikissa haaroissa on itsenäiset venttiilikytkimet, mikä on turvallista ja tehokasta.
4. Sähköiset ohjauskomponentit ottavat käyttöön suurikokoisen ihmisen ja koneen käyttöliittymän LCD-näytön ja toimivat yhteistyössä PLC:n täysautomaattisen ohjauksen kanssa prosessikaavan muokkaamisen ja tuonnin helpottamiseksi.Graafinen käyrä näyttää visuaalisesti eri parametrien muutokset ja arvot, ja laite- ja prosessiparametrit tallennetaan ja arkistoidaan automaattisesti ongelmien jäljittämisen ja tietojen tilastollisen analyysin helpottamiseksi.
5. Työkappaleteline on varustettu servomoottorilla, joka ohjaa alustapöydän nostoa ja laskua.Grafiitti- tai punakuparipohjainen pöytä voidaan valita.Lämpötila mitataan termoparilla.
6. Telinekomponentit voidaan suunnitella kokonaisuutena tai erikseen asiakkaan vaatimusten mukaisesti vastaamaan asiakkaiden erityisiä käsittelyvaatimuksia.
7. Tiivistyslevyn osat ovat kauniita ja tyylikkäitä.Laitteen eri toiminnallisten moduulialueiden tiivistelevyt voidaan nopeasti purkaa tai avata ja sulkea itsenäisesti, mikä on erittäin kätevää käyttää.

Kuumafilamentti-CVD-laitteet soveltuvat timanttimateriaalien, mukaan lukien ohutkalvopinnoitteen, itsekantavan paksukalvon, mikrokiteisen ja nanokiteisen timantin, johtavan timantin jne., kerrostamiseen. Sitä käytetään pääasiassa kovametallileikkaustyökalujen ja puolijohdemateriaalien kulutusta kestävään suojapinnoitteeseen. kuten pii ja piikarbidi, laitteiden lämpöä hajottava pinnoite, booriseostettu johtava timanttielektrodi, elektrolyyttisen veden otsonin desinfiointi tai jäteveden käsittely.