Laitteessa on integroitu magnetronisputterointi ja vastushaihdutustekniikka ja se tarjoaa ratkaisun useiden erilaisten alustojen päällystämiseen.
Kokeellisia pinnoituslaitteita käytetään pääasiassa yliopistoissa ja tieteellisissä tutkimuslaitoksissa, ja ne voivat täyttää erilaisia kokeellisia vaatimuksia.Laitteille on varattu erilaisia rakenteellisia kohteita, jotka voidaan joustavasti konfiguroida vastaamaan eri alojen tieteellistä tutkimusta ja kehitystä.Voidaan valita magneettisputterointijärjestelmä, katodikaarijärjestelmä, elektronisuihkuhaihdutusjärjestelmä, vastushaihdutusjärjestelmä, CVD, PECVD, ionilähde, bias-järjestelmä, lämmitysjärjestelmä, kolmiulotteinen valaisin jne.Asiakkaat voivat valita erilaisten tarpeidensa mukaan.
Laitteen ominaisuudet ovat kaunis ulkonäkö, kompakti rakenne, pieni lattiapinta-ala, korkea automaatioaste, yksinkertainen ja joustava toiminta, vakaa suorituskyky ja helppo huolto.
Laitteita voidaan käyttää muoviin, ruostumattomaan teräkseen, galvanoituihin laitteistoihin/muoviosiin, lasiin, keramiikkaan ja muihin materiaaleihin.Voidaan valmistaa yksinkertaisia metallikerroksia, kuten titaania, kromia, hopeaa, kuparia, alumiinia tai metalliyhdistekalvoja, kuten TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |