1) Sylinterimäisillä kohteilla on korkeampi käyttöaste kuin tasomaisilla kohteilla.Päällystysprosessissa, olipa kyseessä pyörivä magneettityyppi tai pyörivä putkityyppinen sylinterimäinen sputterointikohde, kaikki kohdeputken pinnan osat kulkevat jatkuvasti kestomagneetin eteen muodostuvan sputterointialueen läpi katodisputteroinnin vastaanottamiseksi, ja kohde voidaan sputteroida tasaisesti, ja tavoitekäyttöaste on korkea.Kohdemateriaalien käyttöaste on noin 80-90 %.
2) Sylinterimäisistä kohteista ei ole helppoa tuottaa "kohdemyrkytys".Päällystysprosessin aikana kohdeputken pinta on aina ionien sputteroitu ja syövytetty, eikä pinnalle ole helppoa kerääntyä paksuja oksideja ja muita eristäviä kalvoja, eikä "kohdemyrkytys" ole helppoa tuottaa.
3) Pyörivän kohdeputken tyyppisen sylinterimäisen sputterointikohteen rakenne on yksinkertainen ja helppo asentaa.
4) Sylinterimäistä kohdeputkimateriaalia on erilaisia.tasomainen kohde metallikohde suoralla vesijäähdytyksellä, ja joitain ei voida käsitellä ja muodostaa sylinterimäisiä kohteita, kuten In2-SnO2-kohde jne. jauhemateriaalilla kuumaisostaattiseen puristukseen levymäisten kohteiden saamiseksi, koska kokoa ei voida tehdä. suuri ja hauras, joten on tarpeen käyttää juotosmenetelmää ja kuparista taustalevyä integroimiseksi ja asentamiseksi kohdepohjaan.Metalliputkien lisäksi pylväskohteita voidaan ruiskuttaa myös ruostumattomien teräsputkien pinnalle erilaisilla pinnoitettavilla materiaaleilla, kuten Si, Cr jne.
Tällä hetkellä lieriömäisten pinnoitteiden osuus teollisuustuotannossa on kasvussa.Sylinterimäisiä kohteita ei käytetä vain pystysuorassa päällystyskoneessa, vaan niitä käytetään myös rullalta rullapäällystyskoneessa.Viime vuosina tasomaiset kaksoiskohteet on vähitellen korvattu sylinterimäisillä kaksoismaaleilla.
——Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua Technology, aoptisten pinnoituskoneiden valmistaja.
Postitusaika: 11.5.2023