CVD-pinnoitustekniikalla on seuraavat ominaisuudet:
1. CVD-laitteiden prosessitoiminta on suhteellisen yksinkertainen ja joustava, ja se voi valmistaa yksittäisiä tai komposiittikalvoja ja seoskalvoja eri suhteilla;
2. CVD-pinnoitteella on laaja valikoima sovelluksia, ja sitä voidaan käyttää erilaisten metalli- tai metallikalvopinnoitteiden valmistukseen;
3. Korkea tuotantotehokkuus kerrostumisnopeuksien ansiosta, jotka vaihtelevat muutamasta mikroneista satoihin mikroneihin minuutissa;
4. Verrattuna PVD-menetelmään, CVD:llä on parempi diffraktiokyky ja se soveltuu hyvin monimutkaisten alustojen, kuten urien, päällystettyjen reikien ja jopa sokeareikärakenteiden, päällystämiseen.Pinnoite voidaan päällystää hyvän tiiviyden omaavaksi kalvoksi.Kalvonmuodostusprosessin aikana vallitsevasta korkeasta lämpötilasta ja kalvon substraatin rajapinnan vahvasta tarttumisesta johtuen kalvokerros on erittäin kiinteä
5. Säteilyn aiheuttamat vahingot ovat suhteellisen pieniä ja ne voidaan integroida MOS-integroitujen piirien prosesseihin.
——Tämän artikkelin on julkaissut Guangdong Zhenhua, atyhjiöpinnoituskoneiden valmistaja
Postitusaika: 29.3.2023